一种非接触式线锯导轮槽型检测仪制造技术

一种非接触式线锯导轮槽型检测仪，包括支撑被测量工件的座体、成像镜头和计算机处理元件，在座体的侧面对应被测量工件的上方设有ＣＣＤ成像镜头，下方设有高亮度白光ＬＥＤ可调光源和Ｘ轴Ｙ轴测量光栅尺，所述成像镜头通过支架安装在固定于座体上的线性导轨上，所述导轨的走向与被测工件的轴心平行。测量的时候，将成像镜头的中心方向与被测工件的表面相切，对被测工件的表面槽型进行投影成像，成像之后经过计算机程序的处理后进行放大，显示在软件操作界面上，经过这些处理之后可以将工件上的成像进行几十倍甚至上百倍的放大，而使用者可以根据成像分析软件标注被测工件的槽距、角度和槽型深度等多项数据，并且被测工件表面的瑕疵也会被放大显示在软件界面上，便于客户对产品的质量进行检测和跟踪。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于半导体和太阳能光伏行业的硅片切割设备的切割钢丝 导线轮的槽型检测仪，也可用于其他机械加工领域的螺纹形状和尺寸的检测。
技术介绍
半导体和太阳能光伏行业的硅片切割设备的切割钢丝导线轮的槽型检测，常用的 测量设备都是采用传统机械结构的测量工具，如轮廓测量仪等，由于线锯导轮的本身槽型 表面非常细小，一般槽与槽之间的距离不到0. 4毫米，所以采用普通的测量设备测量难度 大，测量结果准确性差，并且精度也低。特别是对于导轮表面有微小瑕疵的部分，传统的测 量工具已经远远不能满足要求。所以基于上述问题，本人设计了一种新型的高精度非接触 式线锯导轮槽型测量工具，采用CCD摄像头成像之后放大，然后由电脑系统进行测量和比 较，不仅可以测量槽距，同时还可以测量槽型角度和深度，与传统的测量工具相比，本工具 是一个技术上的飞跃，可以大大提高测量的精度和准确度，并且可以直观地观察导轮表面 的微小瑕疵部分。在测量时，无需耗材，使用成本低。具有良好的市场前景。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种非接触式线锯导轮槽型检测的高精度测试仪器，解 决传统测量工具测量精度不高、测量难度大的问题。本技术的目的是通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非接触式线锯导轮槽型检测仪器，包括支撑被测量工件的座体、ＣＣＤ成像镜头、高亮度白光ＬＥＤ可调光源和计算机处理元件，其特征在于，在座体的侧面对应被测量工件的上方设有成像镜头，所述成像镜头通过支架安装在固定于座体上的导轨上，所述导轨的走向与被测工件的轴心平行，并且成像镜头和可调光源所成的直线与被测工件的侧边相切。

【技术特征摘要】
一种非接触式线锯导轮槽型检测仪器，包括支撑被测量工件的座体、CCD成像镜头、高亮度白光LED可调光源和计算机处理元件，其特征在于，在座体的侧面对应被测量工件的上方设有成像镜头，所述成像镜头通过支架安装在固定于座体上的导轨上，所述导轨的走向与被测工件的轴心平行，并且成像镜头和可调光源所成的直线与被测工件的侧边相切。2.根据权利要求1所述的非接触式线锯导轮槽型检测仪器，其特征在于，上方的CCD成 像镜头和下方的高亮度白光LED可调光源安装在同一个活动平台上。3.根据权利要求1所述的非接触式线锯导轮槽型检测仪器，其特征在于，还包括有测 量高分辨率的光栅尺，设于X轴Y轴。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新忠，
申请(专利权)人：无锡市斯达自控设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]