一种相位型表面等离子共振传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种相位型表面等离子共振传感器。传统的相位型表面等离子共振传感器采用压电陶瓷位移平台来调节相位，其价格昂贵，且相位调制的重复性不好，导致传感精度受限。本发明专利技术包括激光器、起偏器、第一分束器、第二分束器、第一检偏器、第二检偏器、第一探测器、第二探测器、表面等离子共振棱镜、样品池和金属调制器。金属调制器中的第一金属反射片与第二金属反射片正交设置在固定架上，固定架与旋转平台连接，高反镜所在的平面与入射到金属调制器的光束垂直。进入金属调制器的光束经第一金属反射片、第二金属反射片反射后到达高反镜。高反镜反射光经第二金属反射片、第一金属反射片后原路返同。本发明专利技术可以高精度，准确地检测样品折射率。

【技术实现步骤摘要】
一种相位型表面等离子共振传感器
本专利技术属于光电传感
，涉及一种相位型表面等离子共振传感器。技术背景光子学是一门既古老又年轻的学科，自激光专利技术以来，基于光学检测的方法被逐 渐的提出。表面等离子共振传感器(surface ρlasmon resonancesensor，以下简称SPR传 感器)就是一种用激光激发金属表面等离子体的共振来实现对样品进行超高精度检测的 新型传感器。传统的相位型SI3R传感器采用马赫-曾德(Mach-khnder)干涉仪，利用压电陶瓷 片改变其一个干涉臂的光程来实现对入射激发光的相位调制。这种方法对实验平台稳定 性，实验环境空气扰动和实验光路准直等的要求非常高。为使实验重复性好，必须使用高性 能的压电陶瓷片，其价格往往非常昂贵。而且压电陶瓷片重复定位精度往往在IOOnm以上， 所以其相位调制重复性不好。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术中相位型sra传感器传感稳定度差且对实验环境 要求苛刻的缺点，提出了一种相位型表面等离子共振传感器。本专利技术解决技术问题所采取的技术方案为一种相位型表面等离子共振传感器包括激光器、起偏器、第一分束器、第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种相位型表面等离子共振传感器，包括激光器、起偏器、第一分束器、第二分束器、第一检偏器、第二检偏器、第一探测器、第二探测器、表面等离子共振棱镜、样品池和金属调制器；激光器发出的光经起偏器后在第一分束器发生分束，第一次分束中的透射光入射到金属调制器，然后由金属调制器回射至第一分束器，并在第一分束器发生反射，该反射光经第二分束器后发生分束，第二次分束中的透射光经第一检偏器后到达第一探测器；第二次分束中的反射光经过表面等离子共振棱镜、第二检偏器后到达第二探测器；所述的样品池与表面等离子共振棱镜的镀金斜面压合在一起，其特征在于：金属调制器包括高反镜、第一金属反射片、第二金属反射片、固定架、旋转平台；第...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶高翱，罗辰杰，钱骏，何赛灵，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]