【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种聚焦离子束机台，尤指一种加入光学检查功能的聚焦离子束机台。
技术介绍
聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常 小尺寸的显微切割仪器，现有的聚焦离子束机台利用离子作为电镜检查功能，如图1所示， 包含有腔体71，离子源72，电子侦测器73以及样品座74，离子源72发射离子束轰击样品座 上的样品75表面产生电子，轰击出的二次电子与背向电子再由电子侦测器73收取讯号成 像，即所谓的电子显微影像。 但是，现有的FIB机台利用离子作为电镜检查功能，一般电子显微镜只能观察样 品表层，因此对于多层次芯片的样品只能检查到最上层表层的结构，对于多层次芯片的样 品下层的异常或定位时常花长时间在样品定位的工作上。
技术实现思路
有鉴于上述现有聚焦离子束机台的不足，本技术的主要目的在于提供一种 可检查多层次样品各个层次的聚焦离子束机台。 为达到上述目的，本技术提供一种加入光学检查功能的聚焦离子束机台，其 包含有腔体，安装于所述腔体内顶部的离子源，安装于所述腔体内侧壁的电子侦测器，光学 摄像头以及样品座；所述离子源发射离子束至放置于样品座上的样品表面，所述电子侦测 器接收样品表面受到离子束轰击而激发出的电子成像，所述光学摄像头安装于腔体的内侧 壁电子侦测器旁，拍摄所述样品的光学成像。 本技术透过在聚焦离子束机台腔体内加入一光学摄像头可以观察到整个样 品的光学概括，再透过电镜观察对样品进行微观检查功能；本技术可以减少定位加速 工程时间，同时可配合光学与电子显微检查来达到查找失效点的目的。 以下结合附图和实施例对本技术做...
【技术保护点】
一种加入光学检查功能的聚焦离子束机台，其特征在于，包含有腔体，安装于所述腔体内顶部的离子源，安装于所述腔体内侧壁的电子侦测器，光学摄像头以及样品座；所述离子源发射离子束至放置于样品座上的样品表面，所述电子侦测器接收样品表面受到离子束轰击而激发出的电子成像，所述光学摄像头安装于腔体的内侧壁电子侦测器旁，拍摄所述样品的光学成像。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：曾元宏，张育嘉，
申请(专利权)人：宜硕科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]
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