通过对扫描诊断结果的统计学分析确定成品率突发异常的原因制造技术

当今生产过程中的成品率突发异常需要昂贵、冗长且繁重的物理失效分析过程方可确定其根本原因。本申请中公开了通过对收集自生产测试环境的失效数据的分析，高效率地确定生产成品率突发异常根本原因的技术。具体而言，将以新的方式使用统计假设检验来分析逻辑诊断数据以及关于设计布局的物理特性的信息，并可靠地确定成品率突发异常的原因。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】通过对扫描诊断结果的统计学分析确定成品率突发异常的原因相关申请本申请要求于2008年2月21日提交的名称为“通过对扫描诊断结果的统计学分 析来确定成品率突发异常的缺陷层”、署名专利技术人为RobertBenware和Manish Sharma的 61/030,556号美国临时专利申请的优先权，在此通过参考将其整体合并入本申请中。
本专利技术针对集成电路的测试、诊断以及成品率和质量的提高。技术背景随着每一项新的技术进步，半导体制造工艺已变得更加复杂而昂贵。因此，为 了摊销生产芯片的成本，每一款设计通常需要在更长的时间段内形成非常高的成品率。 在此大量生产期间，成品率意外且突然降至正常底线水平以下的情况很常见。这种现象 通常被称为成品率突发异常。成品率突发异常的发生可能有多种原因，如加工设备变 化、工艺参数变化等。当此情况发生时，理想的措施是快速确定导致成品率降至正常水 平以下的原因并加以纠正。有时这些突发异常的原因可以根据晶片历史、工艺历史分析等加以确定。然 而，在许多情况下，这些方法可能无法得出答案。在这样的情况下，经常使用的一种方 法是从低成品率晶片(在本公开文件中称为突发异常本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对被确定为成品率突发异常的电路器件测试失效进行分析的方法，所述方法包括：　　接收信息，其中所述信息用于指示容易在制造中变形的电路器件的特征，以及　　指示导致所观察到的测试失效的可能失效位置的信息；　　生成假设，所述假设是假设特定缺陷机理是成品率突发异常的原因；　　对接收到的所述信息进行统计学分析，以计算用于拒绝所述假设的判定值；　　基于所述判定值确定所述成品率突发异常的原因；和　　报告成品率突发异常的原因。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特本维尔，马尼什沙尔玛，
申请(专利权)人：明导公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]