加工控制装置以及激光加工装置制造方法及图纸

一种加工控制装置，其在激光加工机构（３００）使激光聚光于规定的焦点位置而对被加工物进行激光加工时，对激光的焦点位置进行控制，其具有：计算部（２２），其基于在激光加工中进行变化的激光的输出的大小，对激光的照射位置处在激光加工中进行变化的在光轴方向上的焦点位置的位置偏移变化量进行计算；以及控制部（２３），其基于计算部（２２）计算出的位置偏移变化量，对激光加工中的激光的焦点位置进行控制，以消除焦点位置的位置偏移。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种对向被加工物照射的激光的焦点位置进行控制的加工控制装置 以及激光加工装置。
技术介绍
在将激光向被加工物照射而对被加工物进行激光加工的激光加工装置中，利用加 工透镜使激光在规定的焦点位置处聚光，将聚光后的激光向被加工物照射。在这种激光加 工装置中，由于加工透镜吸收激光，所以加工透镜的折射率发生变化。该现象是热透镜效 应，成为使激光的焦点位置变化的原因。因此，在激光加工装置中，通过对加工透镜的在光 轴方向上的位置进行调整，由此对由热透镜效应引起的焦点位置偏移进行校正，使激光在 期望的焦点位置处聚光。例如，在专利文献1所记载的激光加工装置中，为了对焦点位置的偏移进行检测， 而在与对被加工物进行加工处理的区域不同的位置处(加工台外)配置有被检测物。然后， 在开始激光加工前，向被检测物照射激光，基于被检测物的温度上升测定焦点位置的偏移， 并且基于该测定结果，在开始激光加工前，对被加工物和加工透镜之间的距离进行校正。另外，在专利文献2所记载的激光加工装置中，为了对焦点位置的偏移进行检测， 而在加工嘴上设置温度检测器。然后，基于该温度检测器的测定结果，对进行激光加工时被 加工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加工控制装置，其在激光加工装置使激光聚光于规定的焦点位置而对被加工物进行激光加工时，对所述激光的焦点位置进行控制，其特征在于，具有：计算部，其基于在激光加工中进行变化的所述激光的输出的大小，对激光的照射位置处在激光加工中进行变化的在光轴方向上的焦点位置的位置偏移变化量进行计算；以及焦点位置控制部，其基于所述计算部计算出的位置偏移变化量，对激光加工中的所述激光的焦点位置进行控制，以消除所述焦点位置的位置偏移。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥圭二，迎友则，横井茂，山本达也，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]