推拉舟承重桨三维状态调节机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种推拉舟承重桨三维状态调节机构，其特征在于：设有高度调节机构和水平调节机构，高度调节机构由固定底板、高度可调的前夹持件和后夹持件，前夹持件设有两个前支柱和一个前横杆；后夹持件设有两个后支柱和一个后横杆；该前、后夹持件的每根支柱的高度均可调，垂直固定在固定底板上；水平调节机构设有大底板、调节块、限位侧块、限位轴承和螺钉；大底板为推拉舟的移动块，其上面设有嵌入式滚珠轴承；调节块由调节基板、螺纹调节块、主调节螺钉、辅助定位螺钉及相应的固定螺钉组成。本实用新型专利技术适用于晶片加工扩散炉送料推拉舟承重桨的三维状态的调整，结构完善，调节灵活精确，运行过程中状态稳定可靠。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于一种机械三维状态调节机构，具体是用于晶片加工扩散炉送料推拉舟承重桨的水平、高低三维状态进行调整的机构。
技术介绍
用于晶片加工的扩散炉在运行过程中，配套使用的推拉舟通过承重桨将晶片送入 扩散炉，经过工艺过程后将晶片再从扩散炉中取出。推拉舟的放置晶片的承重桨的前后、左 右水平角度、左右的水平位置和整体的高度即三维状态需要进行调整。现用的调节部件在 水平调节时无轴承，在负载状态下几乎无法调节；后端的防侧翻限位仅靠两个螺钉，力度和 精度都远远不够；高度调节各螺杆相对于晶片生产工艺所需的大承重、长力臂都显得单薄； 调节后无锁紧，推拉舟进出料时会因震动等外力作用造成位移，给SiC承重桨、石英反应管 以及晶片造成危险，存在一定的安全隐患。因此，需要对其进行改进。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决上述技术问题，提出一种推拉舟承重桨三维状态调 节机构。该机构设计完善，调节灵活，较好地解决了上述问题。 本技术的目的是通过以下技术方案来实现的推拉舟承重桨三维状态调节机 构，其特征在于设有高度调节机构和水平调节机构，高度调节机构由固定底板、高度可调 的前夹持件和后夹持件构成，前夹持件设有两个前支本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种推拉舟承重桨三维状态调节机构，其特征在于：设有高度调节机构和水平调节机构，高度调节机构由固定底板、高度可调的前夹持件和后夹持件构成，前夹持件设有两个前支柱（４．１、４．４）和一个前横杆（４．３）；后夹持件设有两个后支柱（５．１、５．４）和一个后横杆（５．３）；该前、后夹持件的每根支柱的高度均可调，垂直固定在固定底板（２）上；　　　　水平调节机构设有大底板、调节块、限位侧块、限位轴承和螺钉；大底板（１）为推拉舟的移动块，其上面设有嵌入式滚珠轴承，该轴承与高度调节机构的固定底板（２）底面设置的导轨槽相对应，该轴承和导轨槽构成水平调节机构横向调节的方向定位和降低摩擦部件；调节块由调节基板、螺纹调...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郝晓明，李补忠，桂晓波，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]