静电放电测试方法技术

一种静电放电测试方法，包括：提供待测半导体器件；将所述待测半导体器件上的所有输入输出接触点分为待测组和其他组；将所述待测半导体器件配置于提供的测试板的引脚框上，其中，将所述待测组的输入输出接触点和所述待测半导体器件上的电源接触点、接地接触点分别对应连接到所述测试板的引脚框的引脚上；将所述其他组的所有输入输出接触点以共地连接方式连接到所述测试板的引脚框的接地面上，将所述接地面连接至所述测试板的引脚框的公共引脚上；执行静电放电测试。本发明专利技术通过分组的策略，在不影响测试效果的前提下，解决了现有技术对待测半导体器件的接触点数量的限制，并具有节省时间及降低成本的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及静电放电测试技术，尤其是涉及半导体器件的。
技术介绍
静电放电(Electro Static Discharge ；ESD)是指具有不同静电电位的物体由于 直接接触或静电感应所引起的物体之间静电电荷的转移。通常指在静电场的能量达到一定 程度之后，击穿其间介质而进行放电的现象。静电放电发生时产生的瞬时电压可高达数千 伏，通常会产生足够的热量熔化半导体内部的工作电路，从而引起即时的和不可逆转的损 坏，这是我们所极力避免的。因此，对半导体器件需要进行ESD测试。目前ESD按不同的放电模式分类主要分为三大类型人体放电模式(Human Body Model ；HBM)、机器放电模式(Machine Model ；MM)和元件充电模式(Charged Device Model ；CDM)，其中人体放电模式是最普遍和标准的测试模式，其放电等效电路如附图说明图1所示。 如图1所示，所述放电等效电路包括高压脉冲发生器10、充电电容C、电阻R、终端A和终端 B，其中终端A为放电端，用于在测试时连接接受放电测试的引脚，终端B为接地端，用于在 测试时连接接地的引脚。对集成电路(IC)的每一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电放电测试方法，其特征在于，包括：提供待测半导体器件，所述待测半导体器件包括输入输出接触点、电源接触点和接地接触点；将所述待测半导体器件上的所有输入输出接触点分为待测组和其他组，所述待测组的输入输出接触点与所述待测半导体器件上的电源接触点、接地接触点的总和小于一预设值；将所述待测半导体器件配置于提供的测试板的引脚框上，其中，将所述待测组的输入输出接触点和所述待测半导体器件上的电源接触点、接地接触点分别对应连接到所述测试板的引脚框的引脚上；将所述其他组的所有输入输出接触点以共地连接方式连接到所述测试板的引脚框的接地面上，将所述接地面连接至所述测试板的引脚框的公共引脚上；执行静电放电测试。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：冯军宏，简维廷，张荣哲，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]