一种用于内离子源质谱仪的电子传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于内离子源质谱仪的电子传输装置，包括电源；在电子源的一侧依次设置电极ａ、电极ｂ和电极ｃ，电极ａ、电极ｂ和电极ｃ上设有便于电子源产生的电子流通过的孔，各个电极间相互隔离；电极ａ上的电势Ｖａ、电极ｃ上的电势Ｖｃ都高于电子源上的电势；电极ｂ上的电势Ｖｂ随阶段的不同而变化；用于使流经电子源的电流稳定的稳流模块。本实用新型专利技术具有出射电子流稳定、噪声基线小等优点。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种用于内离子源质谱仪的电子传输装置
本技术涉及质谱仪中电子的传输，尤其是一种用于内离子源质谱仪的电子 传输装置。
技术介绍
质谱分析法主要是通过对样品离子质荷比的分析而实现对样品进行定性和定量 的一种方法。质谱仪的基本组成都包括离子源、质量分析器、检测器和真空系统。离子 源的作用是将待分析的样品电离，得到带有样品信息的离子。按离子化过程所在的空间划分，离子源可分为内离子源和外离子源。其中，离 子化过程在质量分析器内完成的称为内离子源，电子通过一个传输装置进入质量分析器 内部，该传输装置用于实现电子在离子化过程中进入质量分析器，而在非离子化过程中 保证电子不能进入质量分析器。目前，普遍的做法是在电子源和质量分析器之间设置一个电极作为传输装置， 如图1所示。通过改变电极上的电势，从而决定电子源产生的电子流通过与否。上述传输装置主要有以下不足1、存在电子或离子泄漏的可能，造成谱图的噪声基线较大。2、从传输装置出射的电子流非常不稳定，而且随着电子源(如灯丝)的老化， 电子流有逐渐减小的趋势，如图2所示。
技术实现思路
为了解决现有技术中的上述不足，本技术提供了一种出射电子流稳定、不 存在电子或离子泄漏、噪声基线小的用于内离子源质谱仪的电子传输装置。为实现上述目的，本技术采用如下技术方案一种用于内离子源质谱仪的电子传输装置，包括电源；在电子源的一侧依次设置电极a、电极b和电极c，电极a、电极b和电极c上设 有便于电子源产生的电子流通过的孔，各个电极间相互隔离；电极a上的电势Va、电极c上的电势ι都高于电子源上的电势；电极b上的电 势％随阶段的不同而变化；用于使流经电子源的电流稳定的稳流模块。作为优选，所述电极a、电极b和电极C同轴。进一步，电极a与电子源间的电势差固定。进一步，所述稳流模块包括电流测量模块和反馈控制模块。作为优选，电极C上的电势Nc高于电极a上的电势Va。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果1、从传输装置出射的电子流稳定。通过监测流经电子源的电流，再通过反馈保证流经电子源的电流稳定，从而保证从传输装置出射的电子流的稳定。通过改变电极b上的电势，从而决定电子源产生的电子流通过与否，杜绝了在 非离子化阶段电子的泄漏。2、电极C上施加高电势，可有效阻挡(在电子传输过程中，分子电离而产生的) 离子的穿过，降低了噪声基线，有助于提高后续分析的准确度。附图说明图1为现有技术中电子传输装置的结构示意图；图2为图1中传输装置的出射电子流随时间的变化示意图；图3是本技术电子传输装置的结构示意图；图4是实施例中电极的剖视图；图5是图4中电极的A-A截面图；图6是本技术电子传输装置的工作时序图；图7是从传输装置出射的电子流随时间变化示意图。具体实施方式以下结合附图和实施例，对本技术做进一步详细说明。实施例如图3、图4、图5所示，一种用于内离子源质谱仪的电子传输装置，包括电 源、电极a、电极b、电极c以及稳流模块。本实施例采用灯丝作为电子源。当然还可以采用其它电子源，这些都是本领域 的公知知识，在此不再赘述。所述电极a、电极b和电极C按轴向依次排布，轴心在同一条直线上，上述电极 设置在电子源的一侧，并相互隔离。上述电极上设有便于电子流通过的孔，孔的方向相 同。所述孔为任意形状，如三棱柱、四棱柱、圆柱等形状。如图4、图5所示，所述电 极a上的孔为三棱柱形，电极b上的孔为四棱柱形，电极c上的孔为圆柱形。所述电源分别为电子源、上述三个电极供电，如图6所示，电极a上的电势兄高 于电子源上的电势，两者之间的电势差固定；电极c上的电势义高于电极a上的电势Va， 两者之间的电势差固定；电极b上的电势％随阶段的不同而变化，如在离子化阶段，施 加高电势，使电子源产生的电子流通过；在非离子化阶段，施加低电势，阻挡电子流的 通过。所述稳流模块包括电流测量模块、反馈控制模块，通过监测流经电子源的电 流，并通过反馈使流经电子源的电流稳定。上述电子传输装置的工作方式为电源分别为电子源、上述三个电极供电，如图6所示，电极a上为高电势Va，高 于电子源上的电势，两者之间的电势差固定；电极c上为高电势V。(如40V)，高于电极 a上的电势Va，两者之间的电势差固定；在离子化阶段，电极b上为高电势K1 (如50V)，电子源产生的电子流穿过电极 a、电极b和电极c上的孔，电极c阻挡了离子的穿过；在非离子化阶段，电极b上为低电势(如-50V)，Vb2 < Vbl,电极b阻挡了 电子源产生的电子流的穿过，电极c阻挡了离子的穿过；在上述阶段中，电极a与电子源间形成稳定的电场；电流测量模块监测流经电 子源的电流，再通过反馈控制模块使流经电子源的电流稳定，使电子源产生稳定的电子 流，即在离子化阶段从电极C出射的电子流稳定，如图7所示；电极C上保持高电势，阻挡了(在电子传输过程中，分子电离而产生的)离子的 穿过，从而降低了噪声基线。上述实施方式不应理解为对本技术保护范围的限制。本技术的关键 是在电子源的一侧依次设置相互隔离的三个电极，分别为用于和电子源间形成电场的 电极a，用于控制电子源产生的电子流通过与否的电极b，用于阻挡离子通过的电极c， 上述三个电极上设置便于电子源产生的电子流穿过的孔。在不脱离本技术精神的情 况下，对本技术做出的任何形式的改变均应落入本技术的保护范围之内。权利要求1.一种用于内离子源质谱仪的电子传输装置，包括电源；其特征在于在电子源的一侧依次设置电极a、电极b和电极c，电极a、电极b和电极c上设有便 于电子源产生的电子流通过的孔，各个电极间相互隔离；电极a上的电势Va、电极c上的电势V。都高于电子源上的电势；电极b上的电势Vb 随阶段的不同而变化；用于使流经电子源的电流稳定的稳流模块。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述电极a、电极b和电极c同轴。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于电极a与电子源间的电势差固定。4.根据权利要求1或2或3所述的装置，其特征在于所述稳流模块包括电流测量模 块和反馈控制模块。5.根据权利要求1或2或3所述的装置，其特征在于电极c上的电势V。高于电极 a上的电势Va。专利摘要本技术涉及一种用于内离子源质谱仪的电子传输装置，包括电源；在电子源的一侧依次设置电极a、电极b和电极c，电极a、电极b和电极c上设有便于电子源产生的电子流通过的孔，各个电极间相互隔离；电极a上的电势Va、电极c上的电势Vc都高于电子源上的电势；电极b上的电势Vb随阶段的不同而变化；用于使流经电子源的电流稳定的稳流模块。本技术具有出射电子流稳定、噪声基线小等优点。文档编号H01J49/02GK201804838SQ200920198528公开日2011年4月20日 申请日期2009年9月30日 优先权日2009年9月30日专利技术者俞建成, 刘立鹏, 吴文明, 汪茂菊, 郑毅 申请人:聚光科技(杭州)股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于内离子源质谱仪的电子传输装置，包括电源；其特征在于：　　在电子源的一侧依次设置电极ａ、电极ｂ和电极ｃ，电极ａ、电极ｂ和电极ｃ上设有便于电子源产生的电子流通过的孔，各个电极间相互隔离；　　电极ａ上的电势Ｖ↓［ａ］、电极ｃ上的电势Ｖ↓［ｃ］都高于电子源上的电势；电极ｂ上的电势Ｖ↓［ｂ］随阶段的不同而变化；　　用于使流经电子源的电流稳定的稳流模块。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴文明，俞建成，郑毅，汪茂菊，刘立鹏，
申请(专利权)人：聚光科技杭州股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：86[中国|杭州]