工业在线质谱分析方法技术

本发明专利技术提供了工业在线质谱分析方法，所述工业在线质谱分析方法为：在压力P<subgt;1</subgt;的真空条件下，分别将零气和标气通入工业在线质谱系统，获得零点I<subgt;0</subgt;以及标定系数K<subgt;1</subgt;，并保存；在真空条件下，调整标气的压力，获得工业在线质谱系统输出的响应值和变化压力间的映射关系，获得比例系数K<subgt;2</subgt;；在常压条件下，分别将零气和标气通入所述工业在线质谱系统，获得标定系数K<subgt;3</subgt;，并保存；在应用现场的常压条件下，分别将零气和标气通入所述工业在线质谱系统，获得标定系数K<subgt;4</subgt;；在测量现场，所述工业在线质谱系数输出浓度C。本发明专利技术具有分析准确等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及质谱分析，特别涉及工业在线质谱分析方法。

技术介绍

1、真空工艺过程的气体存在着未知的压力波动，当采用工业在线质谱系统直接应用与过程气体的测试是，工艺过程气体的压力波动直接会影响的质谱系统的定量准确性，对于进行工艺控制的系统需要对测量的结果的准确性有较高的要求。

2、现有的技术方案质谱在出厂前根据客户提供应用场景的真空压力，系统出厂前进行标定调试，仪表到现场直接开机测量。这种技术方案的不足主要在于：

3、1.在现场应用中，一旦真空系统压力发生变化，无法保证仪表测量的准确性。

4、2.无法在现场实现标定，仪表长期运行后，信号本身衰减无法识别，无法保证仪表测量的准确性。

5、3.过程气体系统压力的波动直接引起进样量变化叠加在测量结果上，无法保证仪表测量的准确性。

技术实现思路

1、为解决上述现有技术方案中的不足，本专利技术提供了一种工业在线质谱分析方法。

2、本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：

3、工业在线质谱分析方法，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.工业在线质谱分析方法，所述工业在线质谱分析方法为：

2.根据权利要求1所述的工业在线质谱分析方法，其特征在于，系数K1、K2和K3均是所述工业在线质谱系统出厂前获得的。

3.根据权利要求1所述的工业在线质谱分析方法，其特征在于，在获得系数K1、K2和I0的过程中，将零气或标气通入抽真空的腔体内，所述腔体内的真空度达到设定值。

【技术特征摘要】

1.工业在线质谱分析方法，所述工业在线质谱分析方法为：

2.根据权利要求1所述的工业在线质谱分析方法，其特征在于，系数k1、k2和k3均是所述工业在线质谱系统出厂前获...

【专利技术属性】
技术研发人员：谯婷，俞大海，张进伟，任焱，
申请(专利权)人：聚光科技杭州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：