【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及质谱分析，特别涉及工业在线质谱分析方法。
技术介绍
1、真空工艺过程的气体存在着未知的压力波动，当采用工业在线质谱系统直接应用与过程气体的测试是，工艺过程气体的压力波动直接会影响的质谱系统的定量准确性，对于进行工艺控制的系统需要对测量的结果的准确性有较高的要求。
2、现有的技术方案质谱在出厂前根据客户提供应用场景的真空压力，系统出厂前进行标定调试，仪表到现场直接开机测量。这种技术方案的不足主要在于：
3、1.在现场应用中，一旦真空系统压力发生变化，无法保证仪表测量的准确性。
4、2.无法在现场实现标定，仪表长期运行后，信号本身衰减无法识别，无法保证仪表测量的准确性。
5、3.过程气体系统压力的波动直接引起进样量变化叠加在测量结果上，无法保证仪表测量的准确性。
技术实现思路
1、为解决上述现有技术方案中的不足，本专利技术提供了一种工业在线质谱分析方法。
2、本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：
3、工业在线质谱分析方法，工业在线质谱分析方法，所述工业在线质谱分析方法为：
4、在压力p1的真空条件下，分别将零气和标气通入工业在线质谱系统，获得零点i0以及标定系数k1，并保存；
5、在真空条件下，调整标气的压力，获得工业在线质谱系统输出的响应值和变化压力间的映射关系，获得比例系数k2；
6、在常压条件下，分别将零气和标气通入所述工业在线质谱系统，获得标定系数k3
7、在应用现场的常压条件下，分别将零气和标气通入所述工业在线质谱系统，获得标定系数k4；
8、在测量现场，所述工业在线质谱系数输出的浓度c；
9、c= k1·(k4/ k3)·(i-(p2-p1)·k2- i0)，p2是测量现场待测气体的压力，i是测量现场工业在线质谱系统输出的响应值。
10、与现有技术相比，本专利技术具有的有益效果为：
11、本专利技术考虑到出厂前后真空压力变化导致的影响，以及质谱系统本身老化衰减的影响，显著地提高了现场分析的准确度。
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1.工业在线质谱分析方法，所述工业在线质谱分析方法为：
2.根据权利要求1所述的工业在线质谱分析方法，其特征在于，系数K1、K2和K3均是所述工业在线质谱系统出厂前获得的。
3.根据权利要求1所述的工业在线质谱分析方法，其特征在于，在获得系数K1、K2和I0的过程中，将零气或标气通入抽真空的腔体内，所述腔体内的真空度达到设定值。
【技术特征摘要】
1.工业在线质谱分析方法，所述工业在线质谱分析方法为：
2.根据权利要求1所述的工业在线质谱分析方法，其特征在于，系数k1、k2和k3均是所述工业在线质谱系统出厂前获...
【专利技术属性】
技术研发人员：谯婷，俞大海，张进伟，任焱，
申请(专利权)人：聚光科技杭州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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