一种含羟胺的清洗液及其应用制造技术

技术编号:5038638 阅读:261 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种含羟胺的清洗液及其应用,其特征是含有溶剂、水、羟胺、和硫醇苯并噻唑类有机物。硫醇苯并噻唑类有机物其结构通式如下:。该清洗液保持了目前羟胺类清洗液较强的清洗能力,同时对金属和非金属的腐蚀速率较小。该新型的清洗液在金属清洗和半导体晶片清洗等微电子领域具有良好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种含羟胺的清洗液,其含有:溶剂,水,羟胺,硫醇苯并噻唑类有机物。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘兵彭洪修孙广胜
申请(专利权)人:安集微电子上海有限公司
类型:发明
国别省市:31

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