微型机械谐振器制造技术

本发明专利技术提供一种微型机械谐振器（１），其具备：高电介质基板（２）；扭转振动体（１１），其一端为固定于高电介质基板（２）的固定端，另一端为自由端。扭转振动体（１１）为大致圆板状，且下表面为固定于基板（２）的固定端，上表面为未被固定的自由端。扭转振动体（１１）以连结固定端端面的圆中心和自由端端面的圆中心的轴（扭转振动轴）为中心进行扭转振动。由此，能够实现制造容易且高Ｑ值化的微型机械谐振器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种微型机械谐振器，其具备：高电介质基板（２）；扭转振动体（１１），其一端为固定于所述高电介质基板的固定端，另一端为自由端。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：玉野晃正，冈田光广，铃木健一郎，
申请(专利权)人：三洋电机株式会社，学校法人立命馆，
类型：发明
国别省市：JP[日本]