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本发明提供一种微型机械谐振器（１），其具备：高电介质基板（２）；扭转振动体（１１），其一端为固定于高电介质基板（２）的固定端，另一端为自由端。扭转振动体（１１）为大致圆板状，且下表面为固定于基板（２）的固定端，上表面为未被固定的自由端。扭转...该专利属于三洋电机株式会社;学校法人立命馆所有，仅供学习研究参考，未经过三洋电机株式会社;学校法人立命馆授权不得商用。
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本发明提供一种微型机械谐振器（１），其具备：高电介质基板（２）；扭转振动体（１１），其一端为固定于高电介质基板（２）的固定端，另一端为自由端。扭转振动体（１１）为大致圆板状，且下表面为固定于基板（２）的固定端，上表面为未被固定的自由端。扭转...