蒸气产生装置及蒸镀装置制造方法及图纸

形成膜质良好的有机薄膜。本发明专利技术的蒸气产生装置（２０）具有蒸发室（２１）、吐出头（３５）、箱（３１）。蒸镀材料（３９）为液状，容纳在箱（３１）中，从箱（３１）将蒸镀材料（３９）向吐出头（３５）供给。吐出头（３５）将供给至内部的蒸镀材料（３９）从吐出口（３８）吐出，配置在蒸发室（２１）内部的加热部件（２５）。吐出头（３５）正确地供给必要量的蒸镀材料（３９）。由于仅加热必要量的蒸镀材料（３９），因而蒸镀材料（３９）不劣化，形成膜质良好的有机薄膜。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及蒸气产生装置及使用该蒸气产生装置的蒸镀装置。
技术介绍
有机电致发光(EL)元件是近年来最受注目的显示远件之一，具有高亮度且响应 速度快的优异特性。有机电致发光元件在玻璃基板上配置有以红、绿、蓝三种不同的颜色来 发色的发光区域。发光区域是阳极电极膜、空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、 电子注入层及阴极电极膜以此顺序层叠，通过在发光层中添加的发色剂，发出红、绿或蓝的 颜色。空穴输送层、发光层、电子输送层等一般由有机材料构成，在这样的有机材料的膜 的成膜中，广泛地使用蒸镀装置。图4的符号203是现有技术的蒸镀装置，在真空槽211的内部配置有蒸镀容器 212。蒸镀容器212具有容器本体221，该容器本体221的上部由形成有一个乃至多个放出 口 224的盖部222堵塞。蒸镀容器212的内部，配置有粉体的有机蒸镀材料200。在蒸镀容器212的侧面和 底面，配置有加热器223，如果对真空槽211内进行真空排气且加热器223发热，则蒸镀容器 212升温，蒸镀容器212内的有机蒸镀材料200被加热。如果将有机蒸镀材料200加热到蒸发温度以上的温度，则在蒸镀容器212内充满本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸气产生装置，具有：蒸发室；以及供给装置，将蒸镀材料供给至所述蒸发室内，其中，所述供给装置具有配置有液状的蒸镀材料的箱和连接至所述箱的吐出头，在所述吐出头设有吐出口，从所述箱将所述蒸镀材料供给至所述吐出头，并从所述吐出口将所述蒸镀材料向所述蒸发室内部空间吐出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：根岸敏夫，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]