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形成膜质良好的有机薄膜。本发明的蒸气产生装置（２０）具有蒸发室（２１）、吐出头（３５）、箱（３１）。蒸镀材料（３９）为液状，容纳在箱（３１）中，从箱（３１）将蒸镀材料（３９）向吐出头（３５）供给。吐出头（３５）将供给至内部的蒸镀材料（３９）...
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