具有单贮丝滚筒的金刚线截断机制造技术

技术编号:5010686 阅读:198 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术提供一种具有单贮丝滚筒的金刚线截断机,其至少包括贮丝筒、用于驱动该旋转的电机、均匀地缠绕在所述贮丝筒上的切割丝、用于对该切割丝进行导向的第一导丝轮及第二导丝轮、及切割辊,其中,该贮丝筒及电机的数量仅为一个,大大降低了设备的成本;且缠绕在该贮丝筒上的切割丝为一层,避免了多层切割丝因交错而发生纠缠;该第一导丝轮及第二导丝轮之间设置有张力补偿装置,该张力补偿装置具有用以调整该切割丝张力的调整轮,以及用于拉动该调整轮于水平方向运动的气动伸缩件,以补偿该切割丝在往返运动中产生的张力,进而解决了现有技术中需要在设备的走丝系统中配置多个贮丝滚筒到达补偿张力的目的,而导致的成本昂贵的问题。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种线切割技术,特别是涉及一种采用单个贮丝滚筒的金刚线截断机。
技术介绍
线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术,它的原理是通过一根高速运 动的钢线带动附着在钢线上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦,从而达到切割目 的。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高,产能高,精度高等 优点。 在对工件的切割过程中,钢线通过十几个导线轮的引导,在主线辊上形成一张线网,而待加工工件通过工作台的上升下降实现工件的进给,并在压力泵在的作用下,装配在设备上的研磨剂自动喷洒装置将研磨剂喷洒至钢线和工件的切削部位,由钢线带动研磨剂往复运动,利用研磨砂对工件产生切削,以将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片,在上述的作业中,钢线的作用举足轻重,但即便最好的钢线,其延伸度及耐磨度也是有限度的,也就是说钢线在带动研磨剂往复运动中会逐渐变细,直至最终被拉断。 在现有技术中,常见的线切割设备(机床)都会设计钢线张力补偿机构,为弥补钢线往返行走中的延伸度,钢线的抽出及巻取均是独立驱动的,即在钢线左、右运动中把钢线抽出、巻取的。因此一根钢线要在其拉伸强度限度内克服钢线所受到的所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有单贮丝滚筒的金刚线截断机,其至少包括贮丝筒、用于驱动所述贮丝筒于正向或逆向旋转的电机、均匀地缠绕在所述贮丝筒上的切割丝、用于对所述切割丝进行导向的第一导丝轮及第二导丝轮、以及切割辊,其特征在于:所述贮丝筒及电机的数量均为一个,且缠绕在所述贮丝筒上的切割丝为一层;所述第一导丝轮及第二导丝轮之间设置有张力补偿装置,所述张力补偿装置具有用以调整所述切割丝张力的调整轮,以及用于拉动所述调整轮于水平方向运动的气动伸缩件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:卢建伟
申请(专利权)人:上海日进机床有限公司
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]

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