【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能电池生产领域，具体的说是一种在等离子体化学气相沉积 设备中沉积PIN层前对太阳能电池逐步加热的装置。
技术介绍
在现有太阳能电池生产过程中，等离子体化学气相沉积设备对太阳能电池进行沉 积PIN层的过程之前，要求太阳能电池达到一定的温度，以方便下一步工序沉积的速度和 达到沉积的效果，所以在沉积工序之前要对太阳能电池进行加热。 以往的加热过程为让太阳能电池通过设置一定温度的加热炉，对太阳能电池进 行加热。因为加热温度一般在18(TC，所以加热炉的温度要稍大于18(TC，而电池直接进入 该温度的加热炉，急剧的温度变化会使电池的表面应力产生很大的变化，严重时会发生碎 片现象。所以需要寻找一种合适的加热装置对太阳能电池进行加热，而不会对太阳能电池 造成损害。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种在等离子体化学气相沉积设备对太阳能电池进 行沉积前的加热装置，该装置能够对太阳能电池进行循序渐进的分级加热，不会导致电池 的表面应力产生过大的变化和造成太阳能电池损害。 本技术的目的是这样实现的该加热装置包括并排设置的三个加热箱、电池 挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在两个加热箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨 上。 所述的前面加热箱的加热温度设置为6(TC，中间加热箱的加热温度设置为 12(TC，后面加热箱的加热温度设置为180°C。 本技术由于采用上述结构使得太阳能电池在等离子体化学气相沉积设备中 沉积PIN层前对太阳能电池逐步加热，不会导致电池的表面应力产生过大的变化和造成太 阳能电池损害。附图说明图1为本技术整体结构示意图。 图2为本技术侧视图。具...
【技术保护点】
一种等离子体化学气相沉积前的太阳能电池加热装置，其特征在于：该加热装置包括并排设置的三个加热箱（１）、（２）、（３）电池挂片箱（４）、传送导轨（５），所述的传送导轨（５）设置在两个加热箱（１）、（２）、（３）的上面，电池挂片箱（４）挂装在传送导轨（５）上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨继泽，刘万学，张兵，刘志才，王德宏，朱艳伟，钟福建，魏含芳，
申请(专利权)人：吉林庆达新能源电力股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：22[中国|吉林]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。