【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子束加工设备，具体为一种电子束加工设备用滤波器。
技术介绍
电子束加工设备是一种综合了真空物理、电子技术、电子光学、高电压 技术、计算机和控制技术等多种技术的高科技产品。电子束加工设备电气系 统结构复杂，工作电源种类繁多，形成了复杂的电磁环境。目前在电子束加 工设备电气系统中为抑制电磁干扰所采用的技术与措施如设置供电电源进线 滤波器、设备优化接地、加强电磁屏蔽等，使得电子束加工设备电气系统在 正常工作状态时具有良好的电磁兼容性。但是电子束加工设备运行过程中会 产生高压放电的现象，此时产生的电磁冲击干扰远远高于正常工作状态时电 磁干扰。上述一般的抗电磁干扰技术与措施均难以有效抑制高压放电产生的 电磁冲击干扰。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种能够有效提高电子束加工设 备电气系统的电磁兼容性的电子束加工设备用滤波器。为解决上述问题，本技术所设计的电子束加工设备用滤波器，包括 进线差模电抗器、进线共模电抗器、差模滤波电容器、差模瞬变干扰吸收器、 共模滤波电容器、共模瞬变干扰吸收器、出线共模电抗器和出线差模电抗器; 进线差模电抗器的一端口作为滤波器的进线端，进线差模电抗器的另一端口 接入进线共模电抗器的一端口 ，进线共模电抗器的另一端口接入差模滤波电 容器的一端口，差模滤波电容器的另一端口接入差模瞬变干扰吸收器的一端 口，差模瞬变干扰吸收器的另一端口接入出线共模电抗器的一端口，出线共 模电抗器的另一端口接入出线差模电抗器的一端口，出线差模电抗器的另一 端口为滤波器的出线端；共模滤波电容器和共模瞬变干扰吸收器并接于差模 瞬变干扰吸收器与出...
【技术保护点】
电子束加工设备用滤波器，其特征在于：包括进线差模电抗器（１）、进线共模电抗器（２）、差模滤波电容器（３）、差模瞬变干扰吸收器（４）、共模滤波电容器（５）、共模瞬变干扰吸收器（６）、出线共模电抗器（７）和出线差模电抗器（８）；进线差模电抗器（１）的一端口为滤波器的进线端，进线差模电抗器（１）的另一端口接入进线共模电抗器（２）的一端口，进线共模电抗器（２）的另一端口接入差模滤波电容器（３）的一端口，差模滤波电容器（３）的另一端口接入差模瞬变干扰吸收器（４）的一端口，差模瞬变干扰吸收器（４）的另一端口接入出线共模电抗器（７）的一端口，出线共模电抗器（７）的另一端口接入出线差模电抗器（８）的一端口，出线差模电抗器（８）的另一端口为滤波器的出线端；共模滤波电容器（５）和共模瞬变干扰吸收器（６）并接于差模瞬变干扰吸收器（４）与出线共模电抗器（７）之间，共模滤波电容器（５）的公共端和共模瞬变干扰吸收器（６）的公共端连接在一起后再与大地相接。
【技术特征摘要】
1、电子束加工设备用滤波器，其特征在于包括进线差模电抗器(1)、进线共模电抗器(2)、差模滤波电容器(3)、差模瞬变干扰吸收器(4)、共模滤波电容器(5)、共模瞬变干扰吸收器(6)、出线共模电抗器(7)和出线差模电抗器(8)；进线差模电抗器(1)的一端口为滤波器的进线端，进线差模电抗器(1)的另一端口接入进线共模电抗器(2)的一端口，进线共模电抗器(2)的另一端口接入差模滤波电容器(3)的一端口，差模滤波电容器(3)的另一端口接入差模瞬变干扰吸收器(4)的一端口，差模瞬变干扰吸收器(4)的另一端口接入出线共模电抗器(7)的一端口，出线共模电抗器(7)的另一端口接入出线差模电抗器(8)的一端口，出线差模电抗器(8)的另一端口为滤波器的出线端；共模滤波电容器(5)和共模瞬变干扰吸收器(6)并接于差模瞬变干扰吸收器(4)与出线共模电抗器(7)之间，共模滤波电容器(5)的公共端和共模瞬变干扰吸收器(6)的公共端连接在一起后再与大地相接。2、 根据权利要求1所述的电子束加工设备用滤波器，其特征在于 所述进线差模电抗器(1)和出线差模电抗器(8)各由3个或2个独立、 且参数相同的电抗器组成，每个独立的电抗器是巻绕在一个开口的铁氧体 磁路...
【专利技术属性】
技术研发人员：莫力林，韦寿祺，黄小东，郭华艳，莫远林，陆思恒，费翔，罗达琪，马晓东，
申请(专利权)人：桂林狮达机电技术工程有限公司，
类型：实用新型
国别省市：45[中国|广西]
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