一种偏压电源装置及其电子束流调节方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种偏压电源装置及其电子束流调节方法，涉及电子束加工设备偏压电源技术领域。该装置包括：工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器、第二整流滤波电路；偏压变压器包括互相分开的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯；偏压变压器的原边绕组绕于原边绕组磁芯，副边绕组绕于副边绕组磁芯；工频整流滤波电路的输入端接三相交流电；工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器的原边绕组的两端依次连接；偏压变压器的副边绕组的两端与第二整流滤波电路连接；第二整流滤波电路的负输出端连接电子枪栅极，正输出端连接一高压电源的负端；高压电源正端接地。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及电子束加工设备偏压电源
，尤其涉及。
技术介绍
偏压电源是调节真空电子束加工设备束流的核心装置，为电子枪栅极提供负偏压。偏压电源的关键技术在于偏压变压器的结构设计，偏压变压器既需要考虑提高原副边耐压强度，又需要减小漏感，提高电磁耦合效率，降低谐振。然而提高耐压强度和减小漏感是一个矛盾问题，很难同时兼顾。目前，常规的工频偏压变压器的制造方法是在原副边之间填充高耐压材料，然后用环氧树脂灌封成一个体积较大的结构，原副边分别从距离较远的两端引出，环氧树脂材料和灌封工艺尤为重要，但即使如此，也会经常出现高压击穿原副边或磁芯现象。例如，现有技术中的高压逆变功率变压器是将电磁转化频率提高到20kHz，减小漏感，提高电磁转化效率，但将其作为中压60kV或高压150kV电子束设备的偏压变压器，很难适用，极易出现高压击穿现象，必须考虑如何再次增加原副边的耐压等级。通常的高频偏压变压器的做法是采用高耐压材料做变压器骨架，骨架上绕制原边或副边绕组，相应的副边或原边绕组绕制在磁芯上，这虽然能在一定程度上提高偏压变压器耐压等级，但是磁芯绕制原边绕组时需要考虑接地，导出磁芯上的感应电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种偏压电源装置，其特征在于，包括：工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器、第二整流滤波电路；所述偏压变压器包括互相分开的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯；所述偏压变压器的原边绕组绕于所述原边绕组磁芯上，副边绕组绕于所述副边绕组磁芯上；所述工频整流滤波电路的输入端接入有三相交流电；所述工频整流滤波电路的输出端与所述第一逆变与整流滤波电路的输入端连接；所述第一逆变与整流滤波电路的输出端与所述第二逆变电路的输入端连接；所述第二逆变电路的输出端与所述谐振变换电路的输入端连接；所述谐振变换电路的输出端与所述偏压变压器的原边绕组的两端连接，所述偏压变压器的副边绕组的两...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：许海鹰，范恺，左从进，杨波，王永锋，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11