树脂制模制作用叠层体和叠层体、树脂制模和磁记录介质的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种树脂制模制作用叠层体和使用了所述叠层体的树脂制模的制造方法。本发明专利技术的叠层体是通过使用了母模的压缩成型来制作树脂制模的叠层体，具有：相互对向的一对基体、夹在所述一对基体间的液态或凝胶状的固化性树脂材料的层、和夹在所述一对基体间的一个以上的流动制止体，所述流动制止体是所述固化性树脂材料的固化物，所述固化性树脂材料的层被一对基体以及流动制止体封入。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及树脂制模制作用叠层体及其制造方法、和树脂制模的制造方法、磁记 录介质的制造方法。本申请基于在2008年5月23日在日本申请的专利申请2008-135989号和专利申 请2008-135990号要求优先权，将上述申请的内容援引到本申请中。
技术介绍
在半导体制造等中，作为廉价地提供形成IOOnm以下的超微细图案、大批量生产 的技术，纳米压印法受到人们注目。纳米压印法是通过将预先形成有应转印的凹凸图案的 模按压在由光固化树脂或热固化树脂构成的被转印材料上，一边照射光或给予热一边使被 转印材料固化，将凹凸图案转印在被转印材料上的方法。该方法中，使用了光固化树脂的转 印法称为光纳米压印法，使用了热固化树脂的转印法称为热压印法。具有微细的转印图案的纳米压印用模，一般使用硅、硅的氧化物、镍和石英玻璃 等形成。另外，作为被转印材料，使用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚酰亚胺(PI)等热 塑性树脂、聚酯醇酸树脂(PAK)等光固化性树脂、或氢化倍半硅氧烷树脂(HSQ hydrogen silsesquioxane)和旋涂玻璃(SOG)等的高粘性树脂等的情况较多。另外，近年来，磁盘装置、软盘装置和磁带装置等的磁记录装置的适用范围在显著 地扩大，其重要在增大。随之，关于用于这些装置的磁记录介质，正在谋求其记录密度的显 著提高。尤其是，引入磁阻(MR)磁头和PRML技术以来，面记录密度的上升更大，近年来通 过进一步引入巨大磁阻(GMR)磁头、隧道式磁阻(TMR)磁头等，每年在以约100%的比例继 续增加。可是，关于磁记录介质，要求进一步提高记录密度，因此要求实现磁性层的高矫顽 力化和高信噪比(SNR)、高分辨力。另外，近年来也尝试了在提高线记录密度的同时，通过增 加磁道密度来使面记录密度上升。最新的磁记录装置中，磁道密度已达到llOkTPI。然而，若将磁道密度提高下去，则 相邻的磁道间的磁记录信息相互干扰，其边界区域的磁化迁移区域成为噪声源，容易产生 损害SNR的问题。这直接牵扯到比特错码率的降低，因此成为提高记录密度的障碍。为了提高面记录密度，必须使磁记录介质上的各记录比特的尺寸成为更微细的尺 寸，对各记录比特必须尽可能确保大的饱和磁化和磁性膜厚。然而，若不断将记录比特微细 化，则每一比特的磁化最小体积变小，由于热摆导致的磁化反转而产生记录数据消失的问 题。另外，由于磁道间距离接近，因此磁记录装置要求精度极高的磁道伺服技术，但在 满足该要求的同时，宽幅地进行记录，再生为了尽可能排除来自相邻磁道的影响，一般地采 用比记录时窄地实行再生的方法。该方法能够将磁道间的影响抑制在最小限度，但难以充 分得到再生输出，因此存在难以确保充分的SNR的问题。作为解决这样的热摆的问题和确保SNR或者确保充分的输出的方法之一，研究了下述方法在记录介质表面上形成沿着磁道的凹凸(例如，凸也可以记载为峰部，凹也可以 记载为谷部(landand groove) 0 )，或者在相邻磁道间形成非磁性部，将记录磁道彼此物理 性地分离，由此提高磁道密度。以下，将该方法称为离散(分离)磁道法。作为离散磁道型磁记录介质的一例，已知在表面形成了凹凸图案的非磁性基板上 形成磁记录介质，形成了物理性地分离的磁记录磁道和伺服信号图案的磁记录介质(例 如，参照专利文献1)。该磁记录介质是在表面具有多个凹凸的基板的表面上隔着软磁性层而形成强磁 性层，在该强磁性层的表面上形成了保护膜的磁记录介质。该磁记录介质，在凸部区域形成 有与周围磁分隔断的磁记录区域。根据该磁记录介质，由于能够抑制软磁性层中的磁畴壁发生，因此难以出现热摆 的影响，也没有相邻的信号间的干扰，所以能够形成噪声少的高密度磁记录介质。离散磁道法中已知有在形成了由几层的薄膜构成的磁记录介质后形成磁道的方 法；预先在基板表面上直接或在用于形成磁道的薄膜层上形成凹凸图案后，进行磁记录介 质的薄膜(磁性层)形成的方法(例如，参照专利文献2、专利文献幻。其中，将前者的方 法称为磁性层加工法，将后者的方法称为预压花法。后者的预压花法，在介质形成前完成对介质表面的物理加工。因此，具有能够简化 制造工序，并且介质在制造过程中难以污染的优点，但其另一方面，形成在基板上的凹凸形 状也被成膜出的膜继承。其结果，存在一边从介质上浮起一边进行记录再生的记录再生磁 头的浮起姿势、浮起高度不稳定的问题。作为采用前者的磁性层加工法来制造磁记录介质的方法，曾提出了与半导体制造 同样地采用上述的纳米压印法的方法。具体地，曾提出了采用纳米压印法，将在基板上成膜 出的连续的磁性层加工成磁记录磁道图案或比特图案的方法。纳米压印法，如上述是通过将预先形成了应转印的凹凸图案的模按压在被转印材 料上，一边照射光或给予热一边使被转印材料固化，由此将凹凸图案转印在被转印材料上 的方法。纳米压印用模，例如，是在硅等的表面上形成有IOOnm以下的超微细凹凸图案的 模，价格很高。该模如果在压印加工时磨损、破损，则必须更换成新的模，所以经由纳米压印 法制造的磁记录介质制品和半导体等的制品的成本上升。因此，工业上在采用纳米压印方 法时，出于珍惜保存作为原器的母模的目的，制作复制模。即，通过使用印模装置将母模的 图案转印在其他的材料上，由此由一个母模制作出多个复制模(复型模)。该复制模是大量地生产的模，因此价廉。所以，若将复制模作为纳米压印工艺的印 模使用，则即使模破损也能更换成另外的复制模，可以珍惜保存高价的母模。其结果，能够 采用纳米压印法以低成本制造具有微细的凹凸图案的制品。作为采用这样的方法制造的复制模，研究了使用树脂制的模，例如，公开了利用光 固化反应转印微细图案的方法(例如，参照非专利文献1)、抑制该光固化时的收缩的方法 (例如，参照专利文献1)。由于半导体制造和磁记录介质等的微细加工的要求，要求在纳米压印用模上形成 越发微细的图案。例如，采用纳米压印法制造磁记录介质等的场合，为了使其磁记录图案微 细化、实现高记录密度，要求在纳米压印用模上形成越发微细的图案。在纳米压印用模上进行微细的图案形成时，模的磨损进行加快，并且存在破损的 频度变高的倾向。此外，树脂制的复制模，寿命比金属制的模短，因此在使用树脂制的模的 场合，必须确保大量的复制模。所以，要求以高的生产率大量地制造复制模。然而，对于将母模的凹凸图案转印的材料，要求具有固化性，柔软性、填充性高， 厚度均勻。作为满足该要求的方法，例如，可以考虑在基膜的上面印刷凝胶状的固化性树 脂，将该印刷膜作为转印材料来按压母模的方法。为了以均勻的膜厚将印刷膜保持成薄膜状，必须使进行印刷的树脂有某种程度的 粘性，但当提高固化性树脂的粘性时，在利用母模转印时，对凹凸图案的填充性降低，存在 转印的精度降低的倾向。另外，可以考虑预先在基膜的表面设置堰，在该堰中注入液体状的固化性树脂，将 母模压印在由此得到的固化性树脂的层上的方法。然而，该方法制造设备庞大并且生产率 低，而且采用这样的方法难以得到均勻的薄的层。另外，也考虑了采用旋涂在基膜的上面形成固化性树脂的薄膜，将该薄膜作为转 印材料来按压母模的方法，但还存在制造设备庞大而且生产率降低的倾向。因此，这些方法不能够提高生产率，而且有时凹凸图案的转印的精度降低本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种树脂制模制作用叠层体，是通过使用了母模的压缩成型来制作树脂制模的叠层体，其特征在于，具有：　　相互对向的一对基体；　　夹在所述一对基体间的液态或凝胶状的固化性树脂材料的层；和　　夹在所述一对基体间的一个以上的流动制止体，所述流动制止体是所述固化性树脂材料的固化物，　　所述固化性树脂材料的层被一对基体以及流动制止体封入。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田博，梅泽友和，福島正人，竹山俊辅，樱木乔规，
申请(专利权)人：昭和电工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]