镀银反射镜制造技术

技术编号:4945854 阅读:399 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开一种镀银反射镜,涉及光学反射镜技术领域;所要解决的是Ag膜附着力差、银反射镜膜层之间扩散发雾的技术问题;该镀银反射镜包括基板、在所述基板上沉积的下缓冲层、在所述下缓冲层上沉积的Ni-Cr合金层(金属膜层)、在所述Ni-Cr合金层上沉积的Ag膜层、在所述Ag膜层上沉积的Al↓[2]O↓[3]膜层、在所述Al↓[2]O↓[3]膜层上面沉积的SiO↓[2]膜层,在所述SiO↓[2]膜层上沉积的TiO↓[2]膜层(增反射膜层)。本实用新型专利技术的镀银反射镜具有能提高Ag膜的附着力,又能防止Al↓[2]O↓[3]膜层和TiO↓[2]膜层之间扩散发雾,具有耐环境腐蚀性能的特点。(*该技术在2019年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学技术,特别是涉及一种在投影机,照相机,显微镜,望远 镜,复印机,聚光型太阳电池等光电机器上使用的反射镜技术,更具体的说是针对 有银层的高反射银镜的耐环境性能的改良技术。
技术介绍
Ag膜作为一种高反射率的反射镜,在照相机,复印机,显微镜,打印机,放映 机,聚光型太阳电池等各种光学机器中被广泛地使用。然而,用于投影机中、聚光 型太阳能电池上的银反射镜,必须在高温等恶劣条件下长时间使用;在梅雨季节, 则必须长时间暴露在高湿度的状态下。因此,广泛需求一种拥有耐高温高湿的,耐 环境特性出色的Ag反射镜产品。作为具体的例子,例如,长时间在高温高湿的环境下使用,反射层的Ag膜层和 其上下膜层间不能发生剥离,浮起,或破裂等的缺陷;而且Ag膜层不能因为自身的 氧化等引起反射率降低。为了得到这样耐久性出色的银镜,人们提出了各种各样的 解决方案。例如,日本特开平2 0 0 3 — 4 9 1 9号公报公布的名称为高反射镜 的专利文献1和日本特开平0 7 — 2 8 1 0 1 3号公报公布的名称为反射镜的专 利文献2,提出了以下的银反射镜专利文献l提出了由基板,Al 2 0 3膜层,Ag本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀银反射镜,其特征在于,包括基板以及在所述基板自下而上依次沉积的下缓冲层、Ni-Cr合金层、Ag膜层、Al↓[2]O↓[3]膜层、SiO↓[2]膜层和TiO↓[2]膜层。

【技术特征摘要】
1、一种镀银反射镜,其特征在于,包括基板以及在所述基板自下而上依次沉积的下缓冲层、Ni-Cr合金层、Ag膜层、Al2O3膜层、SiO2膜层和TiO2膜层。2、 根据权利要求1所述的镀银反射镜,其特征在于,所述下缓冲层为A 1 203膜层。3、 根据权利要求1所述的镀银反射镜,其特征在于,所述下缓冲层为介质膜层 和A 1 2 0 3膜层,其中介质膜层沉积于基板上。4、 根据权利要求3所述的镀银反射镜,其特征在于,所述介质膜层为S i 02、 T i 0 2膜层或S i O膜层...

【专利技术属性】
技术研发人员:范滨唐健
申请(专利权)人:光驰科技上海有限公司
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]

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