【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种双联往复运动泵，该双联往复运动泵通过使一对泵室反复交替进 行压缩工序和膨胀工序来进行泵动作，所述一对泵室由用连结轴连接起来的一对波纹管、 膜片、柱塞等活动分隔部件所形成，本专利技术尤其涉及在连结轴上设置弹性构件以减小输送 流体的脉动的双联往复运动泵。
技术介绍
公知有如下这样的双联往复运动泵借助于用连结轴连接起来的波纹管等活动分 隔部件将一对封闭空间分隔为泵室和工作室，向一对工作室交替导入工作流体，由此使连 结轴往复运动，以使泵室交替地压缩和伸长。在这种泵中，在连结轴的往复移动冲程的端 部，一对吸入阀和一对喷出阀分别从一个泵室侧向另一泵室侧切换，其结果，喷出流量产生 与冲程数相对应的脉动。这种脉动会导致各种故障。例如，在应用于半导体时存在如下等 问题堵塞在过滤器中的颗粒(particle)受到脉动而被挤出而混入下游侧；或者堵塞在过 滤器中的颗粒因配管的摇晃而从接缝漏出；或者清洁槽的液面波浪起伏；或者用于向晶片 喷射液体的喷嘴前端振动而降低清洁效率；或者液体的惯性阻力增加而使流量不稳定。尤 其是，成为半导体、液晶、太阳能电池、医药以及食品等制造工...
【技术保护点】
一种双联往复运动泵，其特征在于， 该双联往复运动泵具有： 壳体部件，在该壳体部件的内部沿轴向形成一对空间； 一对活动分隔部件，所述一对活动分隔部件以分别沿轴向变形或移动自如的方式配置于所述一对空间内，并沿轴向将所述一对空间分别分隔成泵室和工作室； 连结轴，所述连结轴以经由伸缩部件沿轴向伸缩自如的方式将所述一对活动分隔部件连结起来； 吸入阀，所述吸入阀设置在所述泵室的吸入侧，用于将输送流体引导至所述泵室； 喷出阀，所述喷出阀设置在所述泵室的喷出侧，用于将所述输送流体从所述泵室喷出； 阀机构，所述阀机构用于将工作流体导入所述工作室，并将所述工作流体从所述工作室排出...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2009-6-10 2009-1396261.一种双联往复运动泵，其特征在于， 该双联往复运动泵具有壳体部件，在该壳体部件的内部沿轴向形成一对空间；一对活动分隔部件，所述一对活动分隔部件以分别沿轴向变形或移动自如的方式配置 于所述一对空间内，并沿轴向将所述一对空间分别分隔成泵室和工作室；连结轴，所述连结轴以经由伸缩部件沿轴向伸缩自如的方式将所述一对活动分隔部件 连结起来；吸入阀，所述吸入阀设置在所述泵室的吸入侧，用于将输送流体引导至所述泵室； 喷出阀，所述喷出阀设置在所述泵室的喷出侧，用于将所述输送流体从所述泵室喷出；阀机构，所述阀机构用于将工作流体导入所述工作室，并将所述工作流体从所述工作 室排出；位移传感器，所述位移传感器分别连续地检测所述一对活动分隔部件的位移；以及 控制器，所述控制器基于所述位移传感器的输出，采用使一个泵室的压缩工序和另一 泵室的压缩工序具有部分重复的重复距离的方式切换所述阀机构，由此驱动所述一对活动 分隔部件。2.根据权利要求1所述的双联往复运动泵，其特征在于，所述控制器具有用于设定重复率的设定构件，所述重复率用所述重复距离相对于所述 活动分隔部件的行程全长的比例来表示，所述控制器基于由所述设定构件设定的所述重复 率的设定值和所述位移传感器的输出对所述重复率进行控制。3.根据权利要求1所述的双联往复运动泵，其特征在于，所述控制器随着所述一对活动分隔部件的行程数的增加而增大重复率，该重复率用所 述重复距离相对于所述活动分隔部件的行程全长的比例来表示。4.根据权利要求1所述的双联往复运动泵，其特征在于，所述控制器以将重复率维持在比泵动作停止的所述重复率的临界值小 3%的值 的方式驱动所述活动分隔部件，该重复率用所述重复距离相对于所述活动分隔部件的行程 全长的比例来表示。5.根据权利要求4所述的双联往复运动泵，其特征在于， 所述控制器使最佳的所述重复率定期变化或动态变化。6.根据权利要求1所述的双联往复运动泵，其特征在于，所述双联往复运动泵具有...
【专利技术属性】
技术研发人员：鬼塚敏树，田边裕之，岩渕恭平，吉田笃史，
申请(专利权)人：株式会社易威奇，
类型：发明
国别省市：JP
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