双联往复运动泵制造技术

本发明专利技术提供一种双联往复运动泵，该双联往复运动泵总是能进行稳定的泵动作，并抑制脉动。在壳体部件（２）的内部沿轴向形成一对空间。活动分隔部件（３）以分别沿轴向自由变形的方式配置在一对空间内，并将一对空间沿轴向分别分隔成泵室（５）以及工作室（６）。连结轴（１１）经由伸缩部件（１４）沿轴向伸缩自如地将活动分隔部件（３）连结起来。阀机构（２７）将工作流体导入工作室（６），并将工作流体从工作室（６）排出。控制器（２５）基于位移传感器（２３）的输出，采用使一个泵室（５）的压缩工序和另一泵室（５）的压缩工序具有部分重复的重复距离的方式切换阀机构（２７），由此驱动一对活动分隔部件（３），该位移传感器（２３）分别连续地检测一对活动分隔部件（３）的位移。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种双联往复运动泵，该双联往复运动泵通过使一对泵室反复交替进 行压缩工序和膨胀工序来进行泵动作，所述一对泵室由用连结轴连接起来的一对波纹管、 膜片、柱塞等活动分隔部件所形成，本专利技术尤其涉及在连结轴上设置弹性构件以减小输送 流体的脉动的双联往复运动泵。
技术介绍
公知有如下这样的双联往复运动泵借助于用连结轴连接起来的波纹管等活动分 隔部件将一对封闭空间分隔为泵室和工作室，向一对工作室交替导入工作流体，由此使连 结轴往复运动，以使泵室交替地压缩和伸长。在这种泵中，在连结轴的往复移动冲程的端 部，一对吸入阀和一对喷出阀分别从一个泵室侧向另一泵室侧切换，其结果，喷出流量产生 与冲程数相对应的脉动。这种脉动会导致各种故障。例如，在应用于半导体时存在如下等 问题堵塞在过滤器中的颗粒(particle)受到脉动而被挤出而混入下游侧；或者堵塞在过 滤器中的颗粒因配管的摇晃而从接缝漏出；或者清洁槽的液面波浪起伏；或者用于向晶片 喷射液体的喷嘴前端振动而降低清洁效率；或者液体的惯性阻力增加而使流量不稳定。尤 其是，成为半导体、液晶、太阳能电池、医药以及食品等制造工艺领域中应改善的重大课题。为了解决该问题，现有技术中还公知有如下技术在连结轴的局部设置螺旋弹簧， 从而将活动分隔部件在往复运动方向弹性地连接，由此实现上述的脉动的减小(专利文献 1、2)。专利文献1 日本特表平11-504098号公报(第7页第20行 第25行、图1)专利文献2 :W000/15962 (第4页第37行 第5页第5行、图1)然而，就上述专利文献1中所公开的双联往复运动泵而言，在一个泵室从膨胀工 序变为压缩工序的行程终端，另一泵室的膨胀工序开始，并通过螺旋弹簧的收缩来补偿该 膨胀工序开始的滞后，因此与通过一对泵室积极地重复压缩工序的结束和开始的过程的方 式相比，存在脉动消除效果小的问题。此外，对于专利文献2中所公开的双联往复运动泵，泵室的膨胀工序和压缩工序 之间的切换时机是按时间来控制的，因此，在运行开始后弹性部件的发热和周围环境的变 化等历时变化、以及使行程数变化后的情况下，存在往复运动的相位渐渐变化而使泵动作 变得不稳定的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种总是能进行稳定的 泵动作且抑制了脉动的双联往复运动泵。本专利技术所述的双联往复运动泵的特征在于，该双联往复运动泵具有壳体部件，在 该壳体部件的内部沿轴向形成一对空间；一对活动分隔部件，所述一对活动分隔部件以分 别沿轴向变形或移动自如的方式配置在所述一对空间内，并沿轴向将所述一对空间分别分4隔成泵室和工作室；连结轴，所述连结轴经由伸缩部件沿轴向伸缩自如地将所述一对活动 分隔部件连结起来；吸入阀，所述吸入阀设置在所述泵室的吸入侧，用于将输送流体引导至 所述泵室；喷出阀，所述喷出阀设置在所述泵室的喷出侧，用于将所述输送流体从所述泵室 喷出；阀机构，所述阀机构用于将工作流体导入所述工作室，并将所述工作流体从所述工作 室排出；位移传感器，所述位移传感器分别连续地检测所述一对活动分隔部件的位移；以 及控制器，所述控制器基于所述位移传感器的输出，采用使一个泵室的压缩工序和另一泵 室的压缩工序具有部分重复的重复距离的方式来切换所述阀机构，由此驱动所述一对活动 分隔部件。在优选的一实施方式中，所述控制器具有用于设定重复率的设定构件，所述重复 率用所述重复距离相对于所述活动分隔部件的行程全长的比例来表示，所述控制器基于由 所述设定构件设定的所述重复率的设定值和所述位移传感器的输出对所述重复率进行控 制。另一实施方式的特征在于，所述控制器随着所述一对活动分隔部件的行程数的增 加而增大重复率，该重复率用所述重复距离相对于所述活动分隔部件的行程全长的比例来表不。又一实施方式的特征在于，所述控制器以将重复率维持在比泵动作停止的所述重 复率的临界值小 3%的值的方式驱动所述活动分隔部件，该重复率用所述重复距离 相对于所述活动分隔部件的行程全长的比例来表示。另一实施方式的特征在于，所述控制器使最佳的所述重复率定期变化或动态变 化。另一实施方式的特征在于，所述双联往复运动泵具有用于使所述连结轴的伸缩部 件从压缩状态伸长时的作用力衰减的阻尼器。另一实施方式的特征在于，所述伸缩部件为螺旋弹簧或空气缓冲器。另一实施方式的特征在于，所述双联往复运动泵还具有分别检测所述一对活动分 隔部件已到达移动行程端部的情况的非接触式传感器。另一实施方式的特征在于，所述阀机构具有一对阀，所述一对阀分别设置于所述 一对工作室；以及一对调压阀，所述一对调压阀对来自工作流体供给源的工作流体的压力 进行调节，并将所述工作流体分别供给至所述一对阀。本专利技术的另一双联往复运动泵的特征在于，该双联往复运动泵具有泵头；有底 圆筒状的一对波纹管，所述一对波纹管以彼此的开口侧对置的方式附设于该泵头的两侧， 所述一对波纹管的内部分别形成泵室，并且所述一对波纹管分别能够沿轴向伸缩；有底圆 筒状的一对气缸，所述一对气缸以在内部分别收纳所述一对波纹管的方式与所述波纹管同 轴配置，在所述一对气缸与所述一对波纹管之间形成工作室，所述一对气缸以开口部相互 对置的方式安装于所述泵头；一对泵轴，所述一对泵轴以分别沿所述气缸的中心轴线气密 且滑动自如的方式贯穿所述一对气缸的底部，所述一对泵轴各自的一端分别连结于所述一 对波纹管各自的底部；连结轴，所述连结轴经由伸缩部件沿轴向伸缩自如地将所述一对泵 轴各自的另一端之间连结起来；阀单元，所述阀单元在所述泵室内安装于所述泵头，所述阀 单元将输送流体从所述输送流体的吸入口引导至所述泵室，并且将所述输送流体从所述泵 室向输送流体的喷出口引导；阀机构，所述阀机构用于将工作流体导入所述工作室，并将所述工作流体从所述工作室排出；位移传感器，所述位移传感器分别连续地检测所述一对波 纹管的位移；以及控制器，所述控制器基于所述位移传感器的输出，采用使一个泵室的压缩 工序与另一泵室的压缩工序具有部分重复的重复距离的方式切换所述阀机构，由此驱动所 述一对波纹管。专利技术效果根据本专利技术，能基于位移传感器的连续的位移检测进行最佳的压缩工序重复距离 的控制，因此，总能进行稳定的泵动作，并能有效抑制脉动。附图说明图1是表示本专利技术的第1 3实施方式所述的双联往复运动泵的结构的图。图2是表示该泵的动作的波形图。图3A是表示相对于该泵的行程数的、重复距离的比例和喷出侧脉动压力的曲线 图。图;3B是表示相对于该泵的行程数的、重复距离的比例的范围的曲线图。图4是本专利技术的第4实施方式所述的双联往复运动泵中的连结轴的局部剖视图。图5是本专利技术的第5实施方式所述的双联往复运动泵中的连结轴的局部剖视图。图6是本专利技术的第6实施方式所述的双联往复运动泵中的连结轴的局部剖视图。图7是表示本专利技术的第7实施方式所述的双联往复运动泵的结构的图。图8是表示本专利技术的第8实施方式所述的双联往复运动泵的结构的图。图9是表示本专利技术的第9实施方式所述的双联往复运动泵的结构的图。图10是表示本专利技术的第10实施方式所述的双联往复运动泵的结构的图。图11是表示本专利技术第11实施方式所述的双联往复运动泵的结构的图。具体实施例方式以下，参照附图对本专利技术的优选实施方式进行说明。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双联往复运动泵，其特征在于，　　该双联往复运动泵具有：　　壳体部件，在该壳体部件的内部沿轴向形成一对空间；　　一对活动分隔部件，所述一对活动分隔部件以分别沿轴向变形或移动自如的方式配置于所述一对空间内，并沿轴向将所述一对空间分别分隔成泵室和工作室；　　连结轴，所述连结轴以经由伸缩部件沿轴向伸缩自如的方式将所述一对活动分隔部件连结起来；　　吸入阀，所述吸入阀设置在所述泵室的吸入侧，用于将输送流体引导至所述泵室；　　喷出阀，所述喷出阀设置在所述泵室的喷出侧，用于将所述输送流体从所述泵室喷出；　　阀机构，所述阀机构用于将工作流体导入所述工作室，并将所述工作流体从所述工作室排出；　　位移传感器，所述位移传感器分别连续地检测所述一对活动分隔部件的位移；以及　　控制器，所述控制器基于所述位移传感器的输出，采用使一个泵室的压缩工序和另一泵室的压缩工序具有部分重复的重复距离的方式切换所述阀机构，由此驱动所述一对活动分隔部件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2009-6-10 2009-1396261.一种双联往复运动泵，其特征在于， 该双联往复运动泵具有壳体部件，在该壳体部件的内部沿轴向形成一对空间；一对活动分隔部件，所述一对活动分隔部件以分别沿轴向变形或移动自如的方式配置 于所述一对空间内，并沿轴向将所述一对空间分别分隔成泵室和工作室；连结轴，所述连结轴以经由伸缩部件沿轴向伸缩自如的方式将所述一对活动分隔部件 连结起来；吸入阀，所述吸入阀设置在所述泵室的吸入侧，用于将输送流体引导至所述泵室； 喷出阀，所述喷出阀设置在所述泵室的喷出侧，用于将所述输送流体从所述泵室喷出；阀机构，所述阀机构用于将工作流体导入所述工作室，并将所述工作流体从所述工作 室排出；位移传感器，所述位移传感器分别连续地检测所述一对活动分隔部件的位移；以及 控制器，所述控制器基于所述位移传感器的输出，采用使一个泵室的压缩工序和另一 泵室的压缩工序具有部分重复的重复距离的方式切换所述阀机构，由此驱动所述一对活动 分隔部件。2.根据权利要求1所述的双联往复运动泵，其特征在于，所述控制器具有用于设定重复率的设定构件，所述重复率用所述重复距离相对于所述 活动分隔部件的行程全长的比例来表示，所述控制器基于由所述设定构件设定的所述重复 率的设定值和所述位移传感器的输出对所述重复率进行控制。3.根据权利要求1所述的双联往复运动泵，其特征在于，所述控制器随着所述一对活动分隔部件的行程数的增加而增大重复率，该重复率用所 述重复距离相对于所述活动分隔部件的行程全长的比例来表示。4.根据权利要求1所述的双联往复运动泵，其特征在于，所述控制器以将重复率维持在比泵动作停止的所述重复率的临界值小 3%的值 的方式驱动所述活动分隔部件，该重复率用所述重复距离相对于所述活动分隔部件的行程 全长的比例来表示。5.根据权利要求4所述的双联往复运动泵，其特征在于， 所述控制器使最佳的所述重复率定期变化或动态变化。6.根据权利要求1所述的双联往复运动泵，其特征在于，所述双联往复运动泵具有...

【专利技术属性】
技术研发人员：鬼塚敏树，田边裕之，岩渕恭平，吉田笃史，
申请(专利权)人：株式会社易威奇，
类型：发明
国别省市：JP