基板保持件保持装置和基板保持件收纳室制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板保持件保持装置，该基板保持件保持装置紧凑并且具有简单的结构。根据本发明专利技术的基板保持件保持装置设置有：第一和第二保持机构（５，７），其被收纳在室中，并且分别被构造成能够沿着列保持多个基板保持件；列方向驱动装置，其使第一保持机构相对于第二保持机构沿列方向相对移动；移位机构（３０），其使基板保持件在第一和第二保持机构之间移位；以及连动机构，其通过移位机构和上述列方向驱动装置之间的连动来改变基板保持件在第一或第二保持机构中的在列方向上的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板保持件保持装置和基板保持件收纳室
技术介绍
作为在串联(in-line)型基板处理装置中产生的基板保持件上沉积膜的对策，在 专利文献1中公开了使用基板保持件收纳室的基板保持件的交换系统。专利文献1所公开的基板保持件收纳室设置有放射状配置的具有输送辊的多个输送轨道(earring rail)；以及输送轨道转动机构，其以放射中心为轴线转动地驱动输送 轨道，并且基板保持件能够被装载到各输送轨道上。上述系统是如下的系统通过将这些输 送轨道转动地输送到被设置于收纳室的输送入口/出口(一个开口)，而将收纳室中的基板 保持件送出(回收)到串联型基板处理装置。专利文献1 日本特开2005-120412号公报
技术实现思路
然而，上述系统存在如下问题。(1)基板保持件收纳室的尺寸的小型化如上所述，在传统技术中，采用转动系统来收纳基板保持件，因此需要输送轨道的 放射状配置。输送轨道的配置半径由内置轨道的数量和轨道间隔来确定，并且当内置轨道 的数量变大时，输送轨道需要被配置成与放射中心间隔开，从而导致配置半径的扩大。另 夕卜，作为放射状配置的特征，中心附近的输送轨道间隔根据放射角度向外周扩大，使得在外 周产生无本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板保持件保持装置，其特征在于，所述基板保持件保持装置包括：台机构，所述台机构能够保持多个基板保持件并且能在排列方向上移动；上／下机构，所述上／下机构能使所述基板保持件与所述台机构分离；以及连动机构，所述连动机构通过所述台机构和所述上／下机构之间的连动而使所述基板保持件在所述台机构上的位置移动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】一种基板保持件保持装置，其特征在于，所述基板保持件保持装置包括台机构，所述台机构能够保持多个基板保持件并且能在排列方向上移动；上/下机构，所述上/下机构能使所述基板保持件与所述台机构分离；以及连动机构，所述连动机构通过所述台机构和所述上/下机构之间的连动而使所述基板保持件在所述台机构上的位置移动。2.根据权利要求1所述的基板保持件保持装置，其特征在于，所述台机构能够并排地 保持多个基板保持件，并且所述台机构被构造成能在所述基板保持件的排列方向上以预定 节距移动。3.根据权利要求1所述的基板保持件保持装置，其特征在于，所述上/下机构具有能够保持所述基板保持件的保持构件，所述上/下机构通过相对于所述台机构升高所述保持构件或通过相对于所述保持构 件降低所述台机构而使所述基板保持件与所述台机构分离。4.根据权利要3所述的基板保持件保持装置，其特征在于，所述保持构件被构造成能 够以维持所述基板保持件在所述台机构上的排列的方式来保持所述基板保持件。5.根据权利要求1所述的基板保持件保持装置，其特征在于，所述连动机构通过交替 地进行上/下机构的操作以及台机构沿所述基板保持件的排列方向移动的操作而使所述 基板保持件在所述台机构上的位置移动。6.一种基板保持件收纳室，其特征在于，在所述基板保持件收纳室中配置权利要求1 所述的基板保...

【专利技术属性】
技术研发人员：东坂隆嗣，若林秀纪，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]