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本发明提供一种基板保持件保持装置，该基板保持件保持装置紧凑并且具有简单的结构。根据本发明的基板保持件保持装置设置有：第一和第二保持机构（５，７），其被收纳在室中，并且分别被构造成能够沿着列保持多个基板保持件；列方向驱动装置，其使第一保持机构...
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