一种高效回收硅烷的装置及全自动控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高效回收硅烷的装置及全自动控制方法，涉及硅化工技术领域，装置包括硅烷回收机构，配备远传压力变送器、温度计、液位计等仪表，以及调节阀和切断阀。控制器与各仪表和阀门连接，实现全自动控制；控制方法包括：根据前端压力自动调节硅烷混合气进料量；根据进料量调节液氮进量；通过硅烷在线检测器监测浓度并调节检测管线阀门；根据压力信号控制火炬放空管线的切断阀排放不凝气；根据温度和液位信号控制硅烷回收管线的切断阀，将高纯度硅烷排放至回收罐。本发明专利技术实现了硅烷的高效回收，回收率可达5.2％，降低了生产成本，减少了环境污染，提高了生产效率和安全性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅化工，更具体的说是涉及一种高效回收硅烷的装置及全自动控制方法。

技术介绍

1、硅烷在半导体行业、光伏行业、表面处理等行业都有重要用途，是大工业化生产中必不可少的化工原料。在工艺生产中，硅烷一般通过精馏及歧化反应进行制备，通过控制塔内压力、温度、控制回流比来控制分离效果。然而，在实际生产过程中，由于操作参数不合理、不凝气积聚或其他设备出现故障等原因，常常会导致塔压升高。当塔压过高时，工艺人员通常会通过手动操作排空阀来调节塔压，但在放空过程中，会将不冷凝气和部分未参与反应的硅烷气一起排空掉。

2、这种传统的手动操作方式存在诸多问题。首先，手动操作会导致硅烷气体的大量浪费，增加了生产成本。据统计，由于手动排空导致的硅烷损失率可达5％以上，这对于大规模生产来说是一个巨大的经济损失。其次，手动操作难以精确控制排空过程，容易造成环境污染。硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体，其排放会对环境造成多方面污染，同时还会对人员身体健康造成危害，增加安全事故发生的风险。

3、此外，手动操作还存在响应速度慢、操作不稳定等问题。在塔压本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高效回收硅烷的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种高效回收硅烷的装置，其特征在于，所述控制器(16)根据前端压力自动计算出供入所述物料入口管线的硅烷混合气的进料量，并控制所述物料入口管线的所述第三调节阀(7)开度在0％～100％之间。

3.根据权利要求1所述的一种高效回收硅烷的装置，其特征在于，所述控制器(16)根据供入所述物料入口管线的硅烷混合气的进料量自动计算出所述液氮进口管线的液氮的进量，并控制所述液氮进口管线的所述第二调节阀(5)的开度在0％～100％之间。

4.根据权利要求1所述的一种高效回收硅烷的装置，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种高效回收硅烷的装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种高效回收硅烷的装置，其特征在于，所述控制器(16)根据前端压力自动计算出供入所述物料入口管线的硅烷混合气的进料量，并控制所述物料入口管线的所述第三调节阀(7)开度在0％～100％之间。

3.根据权利要求1所述的一种高效回收硅烷的装置，其特征在于，所述控制器(16)根据供入所述物料入口管线的硅烷混合气的进料量自动计算出所述液氮进口管线的液氮的进量，并控制所述液氮进口管线的所述第二调节阀(5)的开度在0％～100％之间。

4.根据权利要求1所述的一种高效回收硅烷的装置，其特征在于，所述控制器(16)根据所述硅烷检测管线的所述第一远传压力变送器(3)和所述硅烷在线检测器(1)的信号，自动调节所述硅烷检测管线的所述第一调节阀(2)的开度在0％～100％之间。

5.根据权利要求1所述的一种高效回收硅烷的装置，其特征在于，所述控制器(16)根据所述硅烷回收机构(12)的所述第二远传压力变送器(8)的信号，自动控制所述火炬放空管线的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鑫，陶刚义，徐康生，杨林涛，张虎，杜晓辉，王小雨，满晓青，侯龙，刘月颖，
申请(专利权)人：内蒙古兴洋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：