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本发明公开了一种高效回收硅烷的装置及全自动控制方法，涉及硅化工技术领域，装置包括硅烷回收机构，配备远传压力变送器、温度计、液位计等仪表，以及调节阀和切断阀。控制器与各仪表和阀门连接，实现全自动控制；控制方法包括：根据前端压力自动调节硅烷混合...
该专利属于内蒙古兴洋科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古兴洋科技股份有限公司授权不得商用。

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