【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于特种气体纯化，涉及一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收系统、方法和应用。
技术介绍
1、在电子特气例如硅烷精馏提纯工艺中，需采用-30℃至-80℃的低温环境实现杂质分离，目前普遍采用氟化烃类制冷剂循环系统。随着《基加利修正案》对氢氟碳化物的管控升级，现有技术存在两大技术瓶颈：(1)不凝性气体(n2/o2)积聚导致系统压力升高时，传统直接排放方式造成制冷剂年损失量达15-20％；(2)r23等制冷剂的gwp值超12000，直接排放将产生重大环境风险。
2、经实测，传统硅烷精馏系统中：每处理1吨硅烷产生不凝气3.5-4.2m3，排放气体中制冷剂含量高达38-42vol％，系统压力波动范围达±0.15mpa。
3、因此，如何研发出一种维持制冷剂高效制冷，减少或零外排，且稳定硅烷精馏提纯运行的基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收系统及方法是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全...
【技术保护点】
1.一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收系统，其特征在于，包括储液罐、制冷剂冷凝器、气液分离罐和夹套冷凝器；
2.根据权利要求1所述一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收系统，其特征在于，还包括第一压力变送器至第三压力变送器、第一液位变送器至第二液位变送器和第一控制阀门至第五控制阀门；
3.根据权利要求1所述一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收系统，其特征在于，所述第一控制阀门至第五控制阀门为气动切断阀。
4.一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收方法，其特征在于，包括以下步骤：
5.根据权利要求4所...
【技术特征摘要】
1.一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收系统，其特征在于，包括储液罐、制冷剂冷凝器、气液分离罐和夹套冷凝器；
2.根据权利要求1所述一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收系统，其特征在于，还包括第一压力变送器至第三压力变送器、第一液位变送器至第二液位变送器和第一控制阀门至第五控制阀门；
3.根据权利要求1所述一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收系统，其特征在于，所述第一控制阀门至第五控制阀门为气动切断阀。
4.一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收方法，其特征在于，包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收方法，其特征在于，步骤(1)中，制冷剂冷凝器的管程运行压力大于1.5mpa，第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨林涛，侯龙，陶刚义，满晓青，王小雨，
申请(专利权)人：内蒙古兴洋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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