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本发明公开了一种基于液氮深冷的电子特气生产制冷剂全回收系统、方法和应用，属于特种气体纯化技术领域，系统包括储液罐、制冷剂冷凝器、气液分离罐和夹套冷凝器；方法包括初级回收，深度回收，余冷利用，冷凝后的制冷剂排放进储液罐。本发明液氮深冷的电子特...
该专利属于内蒙古兴洋科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古兴洋科技股份有限公司授权不得商用。

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