【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体药液系统，具体涉及一种用于半导体加工过程中的药液精确供应系统。
技术介绍
1、现有技术中，关于ipa溶液的输送主要存在以下缺陷：
2、浓度精度控制不足： 传统的ipa溶液输送系统多采用简单的混合稀释或直接输送方式，难以实现高精度的浓度控制；而浓度波动会导致清洗效果不稳定，影响产品质量。
3、流量控制稳定性差： 现有系统多依赖手动阀门或简单的流量计进行控制，难以实现流量的精确调节和稳定输出；流量波动会导致工艺参数不稳定，影响产品一致性。
4、自动化程度低： 传统系统缺乏自动化控制功能，难以实现与生产线其他设备的联动控制，生产效率低下，且容易产生人为操作失误。
5、安全隐患： ipa属于易燃易爆化学品，传统系统缺乏完善的安全防护措施，存在一定的安全隐患。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为解决上述问题，本申请提出一种用于半导体加工过程中的药液精确供应系统，设置了多个安全装置，有效地保护了设备运行过程中的安全性及操作人员的人...
【技术保护点】
1.一种用于半导体加工过程中的药液精确供应系统，包括机架底座（1）、柜体（2），其特征在于：所述柜体（2）安装在机架底座（1）的上方，所述柜体（2）由箱体一（21）和箱体二（22）组成，所述箱体一（21）内设有控制系统，箱体一（21）外部顶端设有报警器（3），侧壁顶端设有信号闪烁灯（4）；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工过程中的药液精确供应系统，其特征在于：两路所述MAIN RETURN管路接口及RETURN管路接口均通过导线管与储液罐（6）连接，所述RETURN管路接口通过导线管与储液罐（6）连接形成药液回收管路；
3.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工过程中的药液精确供应系统，包括机架底座（1）、柜体（2），其特征在于：所述柜体（2）安装在机架底座（1）的上方，所述柜体（2）由箱体一（21）和箱体二（22）组成，所述箱体一（21）内设有控制系统，箱体一（21）外部顶端设有报警器（3），侧壁顶端设有信号闪烁灯（4）；
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工过程中的药液精确供应系统，其特征在于：两路所述main return管路接口及return管路接口均通过导线管与储液罐（6）连接，所述return管路接口通过导线管与储液罐（6）连接形成药液回收管路；
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工过程中的药液精确供应系统，其特征在于：所述储液罐（6）采用不锈钢制成，且内部涂覆有ptfe。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工过程中的药液精确供应系统，其特征在于：所述箱体二（22）的内部位于加热器（7）的一侧设有用于监测加热器（7）对ipa药液加热温度的温控器。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工...
【专利技术属性】
技术研发人员：李国华，刘超，金炫宇，张宝宝，
申请(专利权)人：嘉际环控西安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。