【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，尤其涉及一种探针清洁装置。
技术介绍
1、在半导体测试中，探针作为连接测试设备与芯片焊盘的精密桥梁，其清洁度直接决定了测试结果的准确性、可靠性和探针本身的使用寿命。
2、然而在现有探针清洁的过程中，存在清洁效果差的问题。因此如何提供技术方案，对所述探针进行清洁，以提高清洁效果，成为了本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术解决的技术问题是通过提供一种探针清洁装置，以提高探针的清洁度。
2、为了解决上述问题，本专利技术实施例提供的探针清洁装置，包括：针卡，包括：第一面以及与第一面相对的第二面；第一通孔，贯穿所述针卡；探针，耦接于所述针卡的第一面；吹气单元，邻近所述针卡的第二面，包括：管道，所述管道的一端具有喇叭口型的出气口；其中，所述吹气单元通过所述出气口吹出气体，所述气体至少流经所述第一通孔后清洁所述探针。
3、可选的，所述吹气单元，还包括：供气子单元；气阀，所述气阀的一端与所述管道的另一端连接，所述气阀的另...
【技术保护点】
1.一种探针清洁装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的探针清洁装置，其特征在于，所述吹气单元，还包括：
3.如权利要求1所述的探针清洁装置，其特征在于，还包括：
4.如权利要求3所述的探针清洁装置，其特征在于，所述安装板还包括：
5.如权利要求4所述的探针清洁装置，其特征在于，还包括：
6.如权利要求5所述的探针清洁装置，其特征在于，还包括：点发射器，设于所述安装板上。
7.如权利要求6所述的探针清洁装置，其特征在于，还包括：
8.如权利要求7所述的探针清洁装置，其特征在于，...
【技术特征摘要】
1.一种探针清洁装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的探针清洁装置，其特征在于，所述吹气单元，还包括：
3.如权利要求1所述的探针清洁装置，其特征在于，还包括：
4.如权利要求3所述的探针清洁装置，其特征在于，所述安装板还包括：
5.如权利要求4所述的探针清洁装置，其特征在于，还包括：
6.如权利要求5所述的探针清洁...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱中华，周军，
申请(专利权)人：宝鼎乾芯集成电路杭州有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。