【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，具体涉及一种研磨设备的马达变速器及机械手臂驱动装置。
技术介绍
1、采用化学机械研磨设备对晶圆进行研磨后，机械手臂(mirra robot)从研磨模组取片时，可能会发生pick up fail(抓取失败)的取片报警。取片报警主要由如下两种情况造成：(1)研磨模组的升降平台高度发生变化(如在更换气缸、更换研磨模组平台、更换基座衬垫时)造成取片报警。(2)机械手臂高度发生变化(如在更换机构的z轴马达、更换手臂衬垫时)造成取片报警。
2、在研磨模组的升降平台或者机械手臂的高度发生变化后，需要通过示教(teaching)来调整机械手臂的高度。现有技术中示教的精度不高，导致需要反复示教来完成位置的调整。
3、需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、针对现有技术中的问题，本申请的目的在于提供一种研磨设备的马达变速器及机械手臂驱动装置，在晶圆传送...
【技术保护点】
1.一种研磨设备的马达变速器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的研磨设备的马达变速器，其特征在于，所述第一齿轮和所述第二齿轮形成行星齿轮结构，所述第一齿轮为太阳轮，所述第二齿轮为行星轮。
3.根据权利要求2所述的研磨设备的马达变速器，其特征在于，所述第二轴包括齿轮连接部和棘轮连接部，所述齿轮连接部与所述行星轮一一对应且各个所述齿轮连接部与所对应的行星轮相连接，所述棘轮连接部与所述第二棘轮机构的第二棘轮相连接。
4.根据权利要求1所述的研磨设备的马达变速器，其特征在于，所述第一轴嵌套于所述第二轴中，所述第一轴相对于所述第二轴...
【技术特征摘要】
1.一种研磨设备的马达变速器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的研磨设备的马达变速器，其特征在于，所述第一齿轮和所述第二齿轮形成行星齿轮结构，所述第一齿轮为太阳轮，所述第二齿轮为行星轮。
3.根据权利要求2所述的研磨设备的马达变速器，其特征在于，所述第二轴包括齿轮连接部和棘轮连接部，所述齿轮连接部与所述行星轮一一对应且各个所述齿轮连接部与所对应的行星轮相连接，所述棘轮连接部与所述第二棘轮机构的第二棘轮相连接。
4.根据权利要求1所述的研磨设备的马达变速器，其特征在于，所述第一轴嵌套于所述第二轴中，所述第一轴相对于所述第二轴可旋转，且所述第一轴露出于所述第二轴的部分与所述第一棘轮机构的棘轮形成不可相对旋转的连接。
5.根据权利要求4所述的研磨设备的马达变速器，其特征在于，所述第一轴嵌套于所述第二轴内部的部分为圆轴，所述第一轴露出于所述第二轴的部分的截面为六边形。
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：张奕卿，尹雷俊，张伟，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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