下载研磨设备的马达变速器及机械手臂驱动装置的技术资料

文档序号:46616979

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本申请提供了一种研磨设备的马达变速器及机械手臂驱动装置,所述马达变速器包括:齿轮传动组件,包括第一齿轮、第二齿轮、第一轴和第二轴,第一轴的一端为动力输入端,第一轴与第一齿轮相连接,第二轴与第二齿轮相连接;棘轮组件,包括机架、第一棘轮机构和第...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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