一种抑制杂波的声表面波器件结构制造技术

本发明专利技术公开了一种抑制杂波的声表面波器件结构，包括衬底层和位于衬底层上的电极层，电极层包括两平行设置的汇流条和位于两汇流条之间的叉指，每个汇流条由平行设置的第一汇流条和第二汇流条构成且通过连接件电连接；所有叉指设置在两第二汇流条之间，每个叉指的一端与其中一个第二汇流条连接，另一端与另一个第二汇流条之间具有第二间隙，且任意相邻的两叉指分别连接于不同的第二汇流条上以使所有叉指形成IDT图形。在第一汇流条和第二汇流条之间设有假指，假指与叉指一一对应；所有假指一端与第二汇流条相连，另一端与第一汇流条之间形成第三间隙。本发明专利技术在抑制横向模式的同时，能实现对间隙模式的抑制。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及声表面波器件，具体涉及一种一种抑制杂波的声表面波器件结构，属于声表面波器件。

技术介绍

1、声表面波（surface acoustic wave，简称saw）滤波器由于其低损耗、小尺寸、低成本及高可靠性等优点被广泛应用。随着各应用领域对saw器件的性能要求越来越高，第三代saw器件（薄膜型saw，简称fsaw）应运而生，与普通saw和tc saw器件相比，fsaw具有更低的插损、更高的温度稳定性、更大的带宽和更高的功率耐受性等优势，但是fsaw滤波器的通带内易产生横向杂波模式，横向模式的存在会增大器件的插损、减小器件的矩形度等，易导致应用系统的信噪比降低，引起信号失真。

2、目前常用的抑制手段为piston结构，即对指条末端进行加宽或者加厚形成速度陷阱，为了增强声波横向能量的反射，在piston结构的基础上又额外增加了一根汇流条，其结构见图1，该结构不仅能实现横向模式的抑制，还能增加器件的q值，但是该方式往往会在fsaw谐振器的反谐振点附近带来额外的杂波模式，即间隙模式。

技术实现思路

<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种抑制杂波的声表面波器件结构，包括衬底层和位于衬底层上的电极层，所述电极层包括两平行设置的汇流条和位于两汇流条之间的叉指，其特征在于：每个汇流条由平行设置的位于外侧的第一汇流条和位于内侧的第二汇流条构成，第一汇流条和第二汇流条之间具有第一间隙；第一汇流条和第二汇流条通过沿长度方向上间隔设置的若干连接件电连接；所有叉指设置在两第二汇流条之间，每个叉指的一端与其中一个第二汇流条连接，另一端与另一个第二汇流条之间具有第二间隙，且任意相邻的两叉指分别连接于不同的第二汇流条上以使所有叉指形成IDT图形；构成IDT图形的叉指按周期性排列，周期为p；

2.根据权利要求1所述的一种抑制...

【技术特征摘要】

1.一种抑制杂波的声表面波器件结构，包括衬底层和位于衬底层上的电极层，所述电极层包括两平行设置的汇流条和位于两汇流条之间的叉指，其特征在于：每个汇流条由平行设置的位于外侧的第一汇流条和位于内侧的第二汇流条构成，第一汇流条和第二汇流条之间具有第一间隙；第一汇流条和第二汇流条通过沿长度方向上间隔设置的若干连接件电连接；所有叉指设置在两第二汇流条之间，每个叉指的一端与其中一个第二汇流条连接，另一端与另一个第二汇流条之间具有第二间隙，且任意相邻的两叉指分别连接于不同的第二汇流条上以使所有叉指形成idt图形；构成idt图形的叉指按周期性排列，周期为p；

2.根据权利要求1所述的一种抑制杂波的声表面波器件结构，其特征在于：设假指长度为l，0.1*p< l <2*p，且假指长度小于第一间隙长度。

3.根据权利要求1所述的一种抑制杂波的声表面波器件结构，其特征在于：所述假指呈周期性排列，周期为p。

4.根据权利要求1所述的一种抑制杂波的声表面波器件结构，其特征在于，所述叉...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖强，罗鸿飞，何成勇，李世国，谭瑞，李桦林，张玲，李凌凤，郑泽渔，贺贞，董加和，陈彦光，马晋毅，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：发明
国别省市：