【技术实现步骤摘要】
本申请涉及谐振，尤其涉及一种谐振器及电子设备。
技术介绍
1、谐振器在微机电系统和传感器领域中占据着重要地位。传统的谐振器通常由单一结构组成，其谐振频率主要由材料和几何尺寸的固定参数决定，该类谐振器一旦确定了几何结构之后，激励的模态也相对固定单一，其应用场景受限。为了解决这一问题，研究人员提出了多种可调谐的谐振器方案，包括电容调谐、热调谐、机械调谐和电磁调谐等方法。
2、然而，申请人发现，电容调谐的实时调谐效果不佳，热调谐的稳定性和精度不足，机械调谐的结构损耗较大，长期稳定性不足，电磁调谐的复杂度和成本较高，因此，亟待设计一种快速、可靠及简便的模态可调谐振结构。
技术实现思路
1、本申请提供一种谐振器及电子设备，该谐振器的结构体积较小，且能够灵活实现面内模态和面外模态的切换。
2、为了实现上述目的，本申请提供如下技术方案：
3、本申请的第一方面提供一种谐振器，其包括：衬底，所述衬底上设有至少两个悬臂梁，所述两个悬臂梁相对所述衬底的中心对称设置，所述悬臂梁
【技术保护点】
1.一种谐振器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述悬臂梁(200)为四个，所述四个悬臂梁(200)相对所述衬底(100)的中心对称设置，每个所述悬臂梁(200)均设有所述第一开孔(210)。
3.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，相邻的两个所述悬臂梁(200)之间还设有支撑梁(300)，所述支撑梁(300)与所述衬底(100)相连。
4.根据权利要求3所述的谐振器，其特征在于，所述支撑梁(300)与所述悬臂梁(200)之间的夹角为45度。
5.根据权利要求1-4任一项所述的谐振器，...
【技术特征摘要】
1.一种谐振器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述悬臂梁(200)为四个，所述四个悬臂梁(200)相对所述衬底(100)的中心对称设置，每个所述悬臂梁(200)均设有所述第一开孔(210)。
3.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，相邻的两个所述悬臂梁(200)之间还设有支撑梁(300)，所述支撑梁(300)与所述衬底(100)相连。
4.根据权利要求3所述的谐振器，其特征在于，所述支撑梁(300)与所述悬臂梁(200)之间的夹角为45度。
5.根据权利要求1-4任一项所述的谐振器，其特征在于，所述衬底(100)上依次层叠设置有底电极(400)、压电层(500)和顶电极(600)，所述悬臂梁(200)设置于所述衬底(100)、所述底电极(400)、所述压电层(500)和所述顶电极(600)，所述第一开孔(210)穿设所述衬底(100)、所述底电极(400)、所述压电层(500)...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴波，
申请(专利权)人：佛山齐诺芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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