弯曲波导结构及其制造方法技术

本公开提供一种弯曲波导结构及其制造方法，可以有效地减小弯曲波导在弯曲模式下的传输能量向弯曲方向的外侧偏移的偏移量，进而降低偏移量所导致的弯曲失配损耗。弯曲波导结构包括：衬底；第一波导，所述第一波导以朝预定的弯曲方向弯曲的方式形成于所述衬底上；以及第二波导，所述第二波导形成在所述第一波导的顶部靠近所述弯曲方向的一侧，且宽度小于所述第一波导。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及半导体光电，特别涉及一种弯曲波导结构及其制造方法。

技术介绍

1、波导(waveguide)是用来定向引导电磁波的结构。在电磁学和通信工程中，波导可以指在它的端点间传递电磁波的任何线性结构，其主要用作微波频率的传输线，在微波炉、雷达、通讯卫星和微波无线电链路设备中用来将微波发送器和接收机与它们的天线连接起来。

2、常见的波导结构主要有平行双导线、同轴线、平行平板波导、矩形波导、圆波导、微带线、平板介质光波导和光纤。从引导电磁波的角度看，这些波导结构都可分为内部区域和外部区域，电磁波被限制在内部区域传播(要求在波导横截面内满足横向谐振原理)。

3、弯曲波导是一种特殊的波导结构，可以用于传输电磁波。弯曲波导的工作原理是基于电磁波在波导中的传播特性，当电磁波进入弯曲波导时，会在波导的内侧和外侧反射，从而形成复杂的电磁场分布。通过改变波导的弯曲半径和弯曲方向，可以控制电磁波的传输路径和模式。

4、在光学领域，弯曲波导被广泛应用于光通信和光传感中。通过将光波导入弯曲波导中，可以实现光信号的传输、调制、分束和合束等功能。作本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弯曲波导结构，其特征在于，所述弯曲波导结构包括：

2.如权利要求1所述的弯曲波导结构，其特征在于，

3.如权利要求2所述的弯曲波导结构，其特征在于，

4.如权利要求2所述的弯曲波导结构，其特征在于，

5.如权利要求2所述的弯曲波导结构，其特征在于，

6.如权利要求1至5中任一项所述的弯曲波导结构，其特征在于，

7.如权利要求1至5中任一项所述的弯曲波导结构，其特征在于，

8.如权利要求1至5中任一项所述的弯曲波导结构，其特征在于，

9.如权利要求1至5中任一项所述的弯曲波导结构，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种弯曲波导结构，其特征在于，所述弯曲波导结构包括：

2.如权利要求1所述的弯曲波导结构，其特征在于，

3.如权利要求2所述的弯曲波导结构，其特征在于，

4.如权利要求2所述的弯曲波导结构，其特征在于，

5.如权利要求2所述的弯曲波导结构，其特征在于，

6.如权利要求1至5中任一项所述的弯曲波导结构，其特征在于，

7.如权利要求1至5中任一项所述的弯曲波导结构，其特征在于，

8.如权利要求1至5中任一项所述的弯曲波导结构，其特征在于，

9.如权利要求1至5中任一项所述的弯曲波导结构，其特征在于，

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【专利技术属性】
技术研发人员：杜磊，辛田，杨承坤，
申请(专利权)人：张江国家实验室，
类型：发明
国别省市：