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弯曲波导结构及其制造方法技术
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文档序号:46615215
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本公开提供一种弯曲波导结构及其制造方法,可以有效地减小弯曲波导在弯曲模式下的传输能量向弯曲方向的外侧偏移的偏移量,进而降低偏移量所导致的弯曲失配损耗。弯曲波导结构包括:衬底;第一波导,所述第一波导以朝预定的弯曲方向弯曲的方式形成于所述衬底上...
该专利属于张江国家实验室所有,仅供学习研究参考,未经过张江国家实验室授权不得商用。
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