【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电镀，具体涉及一种直线电机调节系统、电镀设备及其安装方法。
技术介绍
1、在半导体领域中，电镀工艺是指在基板上沉积金属薄膜的工艺。在先进封装技术中，通常采用电镀工艺在基板上形成铜柱、焊点等不同的结构实现芯片在基板上互连。
2、电镀设备是实现电镀工艺的半导体设备。电镀设备包括电镀腔体与夹具，还包括能够向夹具中放置或取出基板的机械手。机械手从efem（equipment front end module，设备前端模块）或者清洗结构中取出基板后，会将基板放置到夹具中，夹具固定基板后，将基板需要电镀的表面浸没于电镀腔体中的电镀液中执行电镀工艺，电镀完成后，机械手将夹具中的基板取出即可。
3、电镀设备的长度通常在3米~5米左右，可以理解，不同厂商的电镀设备尺寸不同，长度自然会有所差异，但一般电镀设备的长度不会小于3米。电镀腔体与夹具分布在这3-5米左右的长度距离上，通过机械手的移动可以将晶圆放置在夹具后执行上述电镀工艺。
4、机械手在3米~5米的长度距离上移动时，必须保证机械手稳定移动，机械手的倾斜与...
【技术保护点】
1.一种直线电机调节系统，应用于电镀设备，所述电镀设备包括多个能够组装形成所述电镀设备的模块分部、以及每个所述模块分部对应的一部分直线电机模块，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的直线电机调节系统，其特征在于，所述模块分部的数量有三个，所述直线电机模块与所述模块分部对应设置有三个，每个所述直线电机模块对应设置一个或者两个所述直线电机调节机构。
3.根据权利要求1或2所述的直线电机调节系统，其特征在于，所述直线电机调节机构包括：
4.根据权利要求3所述的直线电机调节系统，其特征在于，所述第一螺纹部的数量有多个，所述第一螺接件的
...【技术特征摘要】
1.一种直线电机调节系统，应用于电镀设备，所述电镀设备包括多个能够组装形成所述电镀设备的模块分部、以及每个所述模块分部对应的一部分直线电机模块，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的直线电机调节系统，其特征在于，所述模块分部的数量有三个，所述直线电机模块与所述模块分部对应设置有三个，每个所述直线电机模块对应设置一个或者两个所述直线电机调节机构。
3.根据权利要求1或2所述的直线电机调节系统，其特征在于，所述直线电机调节机构包括：
4.根据权利要求3所述的直线电机调节系统，其特征在于，所述第一螺纹部的数量有多个，所述第一螺接件的数量有多个；
5.根据权利要求3所述的直线电机调节系统，其特征在于，所述电机安装板具有沿所述第二方向延伸的至少一个第一腰型孔；
6.根据权利要求5所述的直线电机调节系统，其特征在于，所述第一腰型孔的数量有多个，所述第二螺纹部的数量有多个，所述第二螺接件的数量有多个；
7.根据权利要求5所述的直线电机调节系统，其特征在于，所述过渡板还具有沿第三方向延伸的至少一个第二腰型孔，所述机架单元具有至少一个沿所述第一方向延伸...
【专利技术属性】
技术研发人员：田玉峰，梁德富，林佳继，
申请(专利权)人：江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。