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本申请提供了一种直线电机调节系统、电镀设备及其安装方法,涉及电镀技术领域,解决了直线电机不平齐导致机械手的传片精度较低的技术问题。该直线电机调节系统包括:与每个直线电机模块均对应设置的至少一个直线电机调节机构,任意相邻的两个直线电机模块拼接...该专利属于江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏无锡经纬天地半导体科技有限公司授权不得商用。
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