【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体生产温控设备领域，尤其涉及一种多通道切换的自稳型恒温水滤波装置及方法。
技术介绍
1、在半导体等一些精密制造领域，对环境温度要求及其严苛，例如在浸没式光刻工艺中，浸液系统的温度需要维持在±0.01℃的波动范围内，对进入浸没式光刻工艺的循环冷却水温度需要进行严格控制，确保通入循环冷却水具有极高的温度稳定性，然而收到制冷机功率、传输过程或其他外界引述的干扰造成循环冷却中的水温会存在一定程度的波动，其中制冷机采用压缩机制冷的循环冷却水具有较强的波动性，使得直接输出的循环冷却液体具有波动性性，当波动性过大时，使得冷液液体无法直接满足浸液系统的要求。
2、传动的循环冷却水温装置采用更高效的压缩机控制策略，还有在温度控制回路中，采用更为精密的pid控制器，实时调整制冷量，保持水温恒定，还可以通过增加缓冲水箱，通过较大容量的保温水箱来进行缓冲温度波动，对于采用更高效和更为精密的温度回路控制依旧会产生较小的温度波动，当瞬态高冷需求较大或因为外界等其他因素极易导致温度波动过大，在半导体生产过程会出现短时间内需要大量冷却水的...
【技术保护点】
1.一种多通道切换的自稳型恒温水滤波装置，包括密封容器，其特征在于，所述密封容器包括至少两个独立的内腔和用于包裹若干内腔的外腔，所述内腔采用具有高导热性能的高导热材料，每个所述内腔和外腔均分别连接有用于冷却液体进入的输入管道和用于液体排出外腔的输出管道，所述输入管道和输出管道上均设有控制阀，通过切换控制阀的开闭状态，驱使冷却液体流经外腔后依次流经不同内腔，当冷却液体流经内腔时，所述内腔内的冷却液体通过高导热材料与外腔内的冷却液体进行热交换，抵消通过输入管道输入内腔中冷却液体水温的随机扰动。
2.根据权利要求1所述的一种多通道切换的自稳型恒温水滤波装置，其特...
【技术特征摘要】
1.一种多通道切换的自稳型恒温水滤波装置，包括密封容器，其特征在于，所述密封容器包括至少两个独立的内腔和用于包裹若干内腔的外腔，所述内腔采用具有高导热性能的高导热材料，每个所述内腔和外腔均分别连接有用于冷却液体进入的输入管道和用于液体排出外腔的输出管道，所述输入管道和输出管道上均设有控制阀，通过切换控制阀的开闭状态，驱使冷却液体流经外腔后依次流经不同内腔，当冷却液体流经内腔时，所述内腔内的冷却液体通过高导热材料与外腔内的冷却液体进行热交换，抵消通过输入管道输入内腔中冷却液体水温的随机扰动。
2.根据权利要求1所述的一种多通道切换的自稳型恒温水滤波装置，其特征在于，所述装置还包括滤波控制系统，所述滤波控制系统包括：
3.根据权利要求2所述的一种多通道切换的自稳型恒温水滤波装置，其特征在于，所述密封容器配置有至少四个内腔，各内腔按照预设顺序依次启动，所述控制模块基于时间间隔或温度漂移量触发内腔切换，驱使输出液体的温度波动始终低于输入液体的温度波动幅值。
4.根据权利要求1所述的一种多通道切换的自稳型恒温水滤波装置，其特征在于，所述密封容器还包括辅助腔，所述辅助腔与外腔通过双向泵管道连接，所述辅助腔体内设置有电加热元件和/或制冷元件，当外腔温度偏离目标值时，辅助腔通过热交换对外腔内液体温度进...
【专利技术属性】
技术研发人员：郝龙，周彬，徐志鹏，张高明，蔡文鑫，
申请(专利权)人：中国计量大学，
类型：发明
国别省市：
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