一种外延炉衬底转移装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于碳化硅衬底生产技术领域，具体地说是一种外延炉衬底转移装置，包括外延炉本体；所述外延炉本体的一侧固连有转运箱；所述转运箱两侧相对的表面均开设有贯通槽；所述贯通槽与外延炉本体连通，通过托盘、电推杆、机械臂和夹爪的配合，实现了对衬底的夹持和转运，然后再由底盖底面的喷管，对衬底表面进行喷气处理，从而起到清理衬底表面的效果，而弧形槽对转运箱内气体的抽吸，使得转运箱内不会弥散有灰尘，同时贯通槽3处的电控阀开启，使得外延轮本体1内的碳化硅颗粒也会被抽吸至环形槽10中，从而避免可外延轮本体1内部的颗粒污染衬底，进而进一步保证对衬底的清理效果，从而保证最终的产品质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于碳化硅衬底生产，具体地说是一种外延炉衬底转移装置。

技术介绍

1、外延炉是一种用于半导体材料制造的关键设备，主要用于在单晶衬底上生长高质量的单晶薄膜，其工作原理是在高温高压环境下将半导体材料沉积在衬底上，形成与衬底晶格结构一致的晶体层，其中衬底转运是保证生产流程顺利进行的重要一环。

2、现有技术中，外延炉衬底转运装置通常由机械臂、悬臂、夹爪和托盘组成，采用位置传感器以确保高温高真空环境下的重复定位精度，进而使得机械臂能够控制夹爪夹取衬底，并将衬底转移至外延炉内部的加工区域，从而使得衬底的表面能够顺利生长出高质量的单晶薄膜。

3、现有技术中，机械臂在通过夹爪转运衬底的过程中，衬底会与外界空气接触，而由于空气中含有较多的灰尘颗粒，此外外延炉在产生过程中，其内部碳化硅细颗粒会聚集越来越多，而在闸门开启更换衬底的过程中，由于气流扰动会使外延炉中碳化硅细颗粒沾染到衬底上，这些灰尘和颗粒都会影响到衬底表面单晶薄膜的生成，进而影响最终的产品质量。

4、为此，本专利技术提供一种外延炉衬底转移装置。>

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【技术保护点】

1.一种外延炉衬底转移装置，其特征在于：包括外延炉本体；所述外延炉本体的一侧固连有转运箱；所述转运箱两侧相对的表面均开设有贯通槽；所述贯通槽与外延炉本体连通，且连接处安装有电控阀；所述转运箱的内部转动连接有托盘，且托盘由伺服电机驱动；所述托盘表面于圆心处镶嵌有电推杆；所述电推杆的伸缩端固连有机械臂；所述机械臂的执行端安装有夹爪；所述转运箱的顶面固连有顶盖；所述顶盖的底面安装有多个均匀设置的喷管；所述喷管与外部泵气组件相连接；所述外部泵气组件通过气泵向喷管内泵入纯净的惰性气体；所述转运箱的内壁开设有弧形槽；所述弧形槽与外部真空泵相连接。

2.根据权利要求1所述的一种外延炉衬底转...

【技术特征摘要】

1.一种外延炉衬底转移装置，其特征在于：包括外延炉本体；所述外延炉本体的一侧固连有转运箱；所述转运箱两侧相对的表面均开设有贯通槽；所述贯通槽与外延炉本体连通，且连接处安装有电控阀；所述转运箱的内部转动连接有托盘，且托盘由伺服电机驱动；所述托盘表面于圆心处镶嵌有电推杆；所述电推杆的伸缩端固连有机械臂；所述机械臂的执行端安装有夹爪；所述转运箱的顶面固连有顶盖；所述顶盖的底面安装有多个均匀设置的喷管；所述喷管与外部泵气组件相连接；所述外部泵气组件通过气泵向喷管内泵入纯净的惰性气体；所述转运箱的内壁开设有弧形槽；所述弧形槽与外部真空泵相连接。

2.根据权利要求1所述的一种外延炉衬底转移装置，其特征在于：所述喷管的顶面设置有基座；同列所述喷管之间共同固连有转动杆；所述转动杆转动在基座的底面；所述转动杆的一端啮合连接有齿板；所述基座表面于齿板对应位置处开设有滑槽；所述齿板滑动连接在滑槽内；所述齿板的顶面啮合连接有齿轮一；所述齿轮一转动连接在基座的顶面，且齿轮一由伺服电机驱动。

3.根据权利要求2所述的一种外延炉衬底转移装置，其特征在于：所述托盘的侧表面啮合连接有齿轮二；所述齿轮二的顶面固连有传动杆；所述转动杆与转运箱内壁转动连接；所述传动杆的顶面固连有齿轮三；所述齿轮三与基座啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种外延炉衬底转移装置，其特征在于：所述转运箱一侧固连有暂存罐；所述暂存罐与转运箱的相连通，且暂存罐与外延炉本体相邻；所述暂存罐的内部固连有分隔板；所述暂存罐的一侧表面固连有一对抽气管；两个所述抽气管与暂存罐内部连通，且两个抽气管分别位于分隔板的顶部和底部；所述抽气管与外部真空泵相连接；所述暂存罐远离转运箱的一侧安装有密封门，且密封门位于隔板的底部。

5.根据权利要求4所述的一种外延...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡动力，王人松，陈湘伟，
申请(专利权)人：连科半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：