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本发明属于碳化硅衬底生产技术领域，具体地说是一种外延炉衬底转移装置，包括外延炉本体；所述外延炉本体的一侧固连有转运箱；所述转运箱两侧相对的表面均开设有贯通槽；所述贯通槽与外延炉本体连通，通过托盘、电推杆、机械臂和夹爪的配合，实现了对衬底的夹...
该专利属于连科半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过连科半导体有限公司授权不得商用。

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