一种硅棒制备装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及硅棒加工技术领域，且公开了一种硅棒制备装置，包括操作台，还包括：底座，固定连接在操作台的底部，用于支撑操作台；两个立柱，固定连接在操作台的顶部并位于前后两侧；旋转机构，设置于两个立柱上，用于旋转硅棒。本发明专利技术通过旋转机构带动整个圆板旋转，实现硅棒的公转；同时通过传动机构驱动自转机构的转杆旋转，使硅棒在六边形筒内自转，公转与自转的叠加运动使研磨料与硅棒充分接触，显著提升研磨效率，避免传统单向研磨导致的表面不均匀问题，研磨组件中的推板通过配重块的离心力和重力作用周期性伸缩，推动研磨料与硅棒动态碰撞，进一步细化研磨效果，尤其适用于高硬度硅棒的精密加工。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅棒加工，具体为一种硅棒制备装置及方法。

技术介绍

1、硅棒作为光伏产业及半导体制造的核心原材料，其表面质量直接影响后续切片、电池制备及芯片蚀刻等工艺的良率与性能。

2、如申请号201611110102.4中公开了一种硅棒研磨机，其采用，采用的导板的顶端为圆弧面结构，使原来的面接触变为点接触，能够使不规则硅棒在两个砂轮的转动下旋转起来，方便硅棒的研磨加工，给硅棒加工带来了极大的便利，解决了技术难题，提高了企业的经济效益。

3、但是，传统研磨设备多采用单向旋转研磨或线性摩擦方式，硅棒与研磨介质的相对运动轨迹单一，易导致表面划痕、材料去除率不均，尤其在高硬度硅棒(如单晶硅)加工中，需反复多次处理才能满足精度要求，效率低下的问题，故而提出一种硅棒制备装置及方法来解决上述所提出的问题。

技术实现思路

1、本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供了一种硅棒制备装置及方法。

2、为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种硅棒制备装置，包括操本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种硅棒制备装置，包括操作台(1)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种硅棒制备装置，其特征在于：所述旋转机构(4)还包括：

3.根据权利要求2所述的一种硅棒制备装置，其特征在于：所述自转机构(5)还包括：

4.根据权利要求3所述的一种硅棒制备装置，其特征在于：所述卡接组件(53)包括：

5.根据权利要求4所述的一种硅棒制备装置，其特征在于：所述限位板二上开设有两个弧形限位孔，并且所述卡杆(533)上固定连接有限位滑柱(536)，且所述限位滑柱(536)于弧形限位孔内滑动。

6.根据权利要求5所述的一种硅棒制备...

【技术特征摘要】

1.一种硅棒制备装置，包括操作台(1)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种硅棒制备装置，其特征在于：所述旋转机构(4)还包括：

3.根据权利要求2所述的一种硅棒制备装置，其特征在于：所述自转机构(5)还包括：

4.根据权利要求3所述的一种硅棒制备装置，其特征在于：所述卡接组件(53)包括：

5.根据权利要求4所述的一种硅棒制备装置，其特征在于：所述限位板二上开设有两个弧形限位孔，并且所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周宏舰，
申请(专利权)人：扬州市佰旭炉料有限公司，
类型：发明
国别省市：