下载一种硅棒制备装置及方法的技术资料

文档序号:46595943

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本发明涉及硅棒加工技术领域,且公开了一种硅棒制备装置,包括操作台,还包括:底座,固定连接在操作台的底部,用于支撑操作台;两个立柱,固定连接在操作台的顶部并位于前后两侧;旋转机构,设置于两个立柱上,用于旋转硅棒。本发明通过旋转机构带动整个圆板...
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