【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于芯片检测，更具体地说，特别涉及一种芯片基板性能检测装置及其方法。
技术介绍
1、芯片基板是电子设备的核心组成，承担着支撑芯片、连接电路、传导信号等关键功能，而随着电子技术的快速发展，芯片集成度不断提高，工作频率持续上升，芯片基板需要在高温、潮湿、振动及腐蚀性环境等复杂工况下保持稳定性能，因此就需要对其进行热稳定性、耐腐蚀性检测。
2、现有的芯片基板性能检测装置多为检测单一功能，其热稳定性、耐腐蚀性需要分开进行检测，无法实现加热与腐蚀环境的动态耦合，仅能分步模拟单一环境应力，在检测过程需多次转移基板，不仅增加了操作步骤，还可能因转移过程中的环境变化或机械接触导致检测数据失真，并且难以追踪其基板性能随检测进程的动态变化。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种芯片基板性能检测装置及其方法，以解决现有技术中，传统的芯片基板性能检测装置多为检测单一功能，在检测过程需多次转移基板，可能因转移过程中的环境变化或机械接触导致检测数据失真，并且难以追踪其基板...
【技术保护点】
1.一种芯片基板性能检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
4.根据权利要求2所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
5.根据权利要求2所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
7.根据权利要求2所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
8.一种芯片基板性能检测装置的检测方法，应用于权利要求1...
【技术特征摘要】
1.一种芯片基板性能检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
4.根据权利要求2所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
5.根据权利要求2所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
7.根据权利要求2所述的一种芯片基板性能检测装置，其特征在于：
8.一种芯片基板性能...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨海东，展国彬，刘宇，余敏军，郑鑫楚，林雄飞，
申请(专利权)人：浙江常淳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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