本发明专利技术公开一种用复合电解槽回收再生酸性氯化铜蚀刻废液的方法，包括以下步骤：(1)采用复合电解槽，所述复合电解槽的内部分有阳极槽区、中间槽区和阴极槽区，所述的中间槽区设于阳极槽区和阴极槽区之间；(2)以中阳极槽区专用于氧化再生蚀铜剂，采用①蚀刻废液，②蚀刻废液与水和/或其他电解质混合后所得的溶液，③上述①溶液经过电化学反应后所得的溶液，④上述②溶液经过电化学反应后所得的溶液，四种中的至少一种溶液作为中间槽区电解液，向阴极槽区补充输送铜离子并电析为铜；本发明专利技术解决电析铜被返蚀的问题，实现提升蚀刻工作液和/或废液中氯元素物质的循环回用率。本发明专利技术还公开一种用复合电解槽回收再生酸性氯化铜蚀刻废液的装置。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
pct国内申请，权...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶涛，叶旖婷，
申请(专利权)人：叶涛，
类型：发明
国别省市：
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