微型发光器件及其制作方法技术

技术编号:46593211 阅读:2 留言:0更新日期:2025-10-10 21:26
本申请涉及一种微型发光器件及其制作方法,包括:提供包括基底和多个发光芯片的发光阵列结构以及包括多个驱动芯片的驱动阵列结构,驱动芯片具有键合区和非键合区并包括设于非键合区内驱动芯片一侧的外围电极;在非键合区内驱动芯片设有外围电极的一侧上形成至少覆盖外围电极的保护层;将发光阵列结构与驱动阵列结构键合得到键合结构,键合结构中发光芯片对应键合连接于键合区内的驱动芯片,基底通过保护层连接于非键合区内的驱动芯片;在发光阵列结构与驱动阵列结构之间的间隙内形成底填胶层;去除基底,露出保护层;对露出的保护层进行处理露出外围电极,从而能够解决多芯片键合工艺中外围电极表面的底填胶残留问题,提高产品的可靠性和良率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体发光,具体涉及一种微型发光器件及其制作方法


技术介绍

1、micro-led(micro light emitting diode,微型发光二极管)芯片阵列片通常是指在单个led(light emitting diode,发光二极管)外延片上,通过光刻、刻蚀、蒸镀、切割等工艺形成的芯片阵列。应用于微显示屏的micro-led芯片阵列片尺寸一般为几毫米至几十毫米。相较于目前的lcd(liquid crystal display,液晶显示器)和oled(organic lightemitting display,有机发光显示器)等显示器件,micro-led显示器件具备反应迅速、高色域、高ppi(pixels per inch,像素每英寸)、高亮度和低能耗等显著优势,可广泛应用于ar(augmented reality,增强现实)/vr(virtual reality,虚拟现实)微显示和可穿戴微显示等领域。

2、然而,现有micro-led显示器件的制造工艺存在产品良率及可靠性低的问题。


技术实现思路<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微型发光器件的制作方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的微型发光器件的制作方法,其特征在于,所述多个驱动芯片之间设有切割道,所述切割道位于所述多个驱动芯片的所述非键合区内;

3.根据权利要求2所述的微型发光器件的制作方法,其特征在于,所述基于露出的外围电极制备得到微型发光器件,包括:

4.根据权利要求1所述的微型发光器件的制作方法,其特征在于,所述对去除基底露出的保护层进行处理,露出所述驱动芯片的外围电极,包括:

5.根据权利要求1所述的微型发光器件的制作方法,其特征在于,所述保护层具有固化状态和可流动状态;所述方法还包...

【技术特征摘要】

1.一种微型发光器件的制作方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的微型发光器件的制作方法,其特征在于,所述多个驱动芯片之间设有切割道,所述切割道位于所述多个驱动芯片的所述非键合区内;

3.根据权利要求2所述的微型发光器件的制作方法,其特征在于,所述基于露出的外围电极制备得到微型发光器件,包括:

4.根据权利要求1所述的微型发光器件的制作方法,其特征在于,所述对去除基底露出的保护层进行处理,露出所述驱动芯片的外围电极,包括:

5.根据权利要求1所述的微型发光器件的制作方法,其特征在于,所述保护层具有固化状态和可流动状态;所述方法还包括:

6.根据权利要求1所述的微型发光器件的制作方法,其特征在于,所述在所述非键合区内所述驱动芯片设有所述外围电极的一侧上,形成保护层,包括:<...

【专利技术属性】
技术研发人员:金天赋邱成峰
申请(专利权)人:深圳市思坦科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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