一种电机、转动机构及单晶炉制造技术

技术编号:46562796 阅读:0 留言:0更新日期:2025-10-10 21:14
本技术提供了一种电机、转动机构及单晶炉。电机设置有贯通的中空通道,电机在靠近中空通道的侧壁和/或端部处设置有冷却结构。本技术的电机,其中的中空通道为晶棒提供了生长提拉移动的空间,并且,中空通道侧壁和端部至少一处有冷却结构,使得该电机可适用于单晶炉内的高温工作环境。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅拉晶,特别是涉及一种电机、转动机构及单晶炉


技术介绍

1、在单晶炉中使用电机作为动力来提拉单晶硅棒在拉晶过程中十分普遍。

2、在拉晶生产过程,为了突破单晶炉内传统的非接触式散热方式对拉晶速度的制约,研究人员开发设计了可以实现接触式散热的方式,在这种散热方式下,可以以接触的形式将晶棒的热量传导出去。

3、由于晶棒在拉晶过程中处于旋转状态,为了减小与晶棒接触传热时,对晶棒的运动状态的影响,避免因此造成拉晶不稳定或者断线,需要针对单晶炉工作环境及晶棒的生长状态开发设计一套接触式散热方案。


技术实现思路

1、本技术提供一种电机、转动机构及单晶炉,旨在解决对晶棒进行接触式散热与拉晶稳定性之间的矛盾,以实现接触式散热在直拉单晶中的应用,突破传统的散热水平对提升拉晶速度的限制。

2、本技术实施例提供了一种电机,所述电机沿中心轴线方向设置有贯通的中空通道,所述电机在靠近所述中空通道的侧壁和/或端部处设置有冷却结构。

3、可选地,所述电机包括:定子,所述定子设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电机,其特征在于,所述电机设置有贯通的中空通道,所述电机在靠近所述中空通道的侧壁和/或端部处设置有冷却结构;

2.根据权利要求1所述的电机,其特征在于,所述冷却结构包括靠近所述中空通道的端部处的冷却板,所述冷却板连接于所述定子远离所述转子的一端,所述冷却板靠近所述定子处设置有第一冷却流道。

3.根据权利要求2所述的电机,其特征在于,所述第二冷却流道包括多条沿所述电机的轴向设置的第一子流道,以及至少一条环绕所述法兰凸缘的周向设置的第二子流道;

4.根据权利要求2所述的电机,其特征在于,所述定子还包括法兰盘,所述法兰盘位于所述法兰凸缘远离所述转子的...

【技术特征摘要】

1.一种电机,其特征在于,所述电机设置有贯通的中空通道,所述电机在靠近所述中空通道的侧壁和/或端部处设置有冷却结构;

2.根据权利要求1所述的电机,其特征在于,所述冷却结构包括靠近所述中空通道的端部处的冷却板,所述冷却板连接于所述定子远离所述转子的一端,所述冷却板靠近所述定子处设置有第一冷却流道。

3.根据权利要求2所述的电机,其特征在于,所述第二冷却流道包括多条沿所述电机的轴向设置的第一子流道,以及至少一条环绕所述法兰凸缘的周向设置的第二子流道;

4.根据权利要求2所述的电机,其特征在于,所述定子还包括法兰盘,所述法兰盘位于所述法兰凸缘远离...

【专利技术属性】
技术研发人员:董升李侨刘永生
申请(专利权)人:隆基绿能科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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