一种双层对焦方法及系统技术方案

技术编号:46549766 阅读:1 留言:0更新日期:2025-10-10 21:10
本发明专利技术提出一种双层对焦方法及系统。该方法包括,获取经待测物表面反射的光斑图像;预处理光斑图像,获取像素行‑像素值曲线图,并筛选像素行‑像素值曲线图的峰点、谷点;基于每一谷点的像素值及与其相邻的峰点的像素值,计算每一谷点的左侧阈值、右侧阈值;基于该谷点的左侧阈值、右侧阈值,分别获取该谷点左、右侧的分割段的数量及宽度,并基于每一分割段中峰点的像素值,判断该谷点是否为分割点;分别计算分割点左侧、右侧的质心,获取显微物镜与待测物目标层之间的第一调整距离,以实现自动对焦。本申请通过筛选满足条件的谷点作为分割点,缩小理论计算与实操之间的误差,以提高对焦精度,使得在允许的偏差范围内,更快速实现对焦。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图像处理,特别涉及一种双层对焦方法及系统


技术介绍

1、光学显微镜通过透镜成像的方式对被测物表面的图像进行放大,为了获得有意义的图像,显微物镜须精确地聚焦在样品表面,而高倍显微物镜的景深一般只有几个微米,显微物镜的操作人员往往需要耗费大量的时间手动调节物镜到被测物之间的距离实现对焦。显微自动对焦技术通过反馈信号推算出物镜当前的离焦量,并将其转换为电机的运动信号,通过电机带动物镜运动将对焦过程自动化。

2、根据反馈信号的种类不同,可将显微自动对焦技术分为基于图像的自动对焦技术和基于激光的自动对焦技术。基于图像的自动对焦技术通过图像清晰度评价函数,以量化的清晰度值判断当前的离焦量;该技术的判断结果,依赖于采集到的图像状态,容易受到光照环境的影响,且对焦速度较慢、对焦范围较小。

3、基于激光的自动对焦技术,在普通显微镜的基础上,增加了一路激光信号。通过对激光光斑形态(包括质心、半径和曲率等)进行计算得到被测物的离焦量,并根据该离焦量控制物镜的移动方向和移动距离,使得显微物镜与被测物表面之间的距离处于物镜的景深范围内,从而实本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双层对焦方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的双层对焦方法,其特征在于,分割段,包括:在任一谷点的任一侧,获取该谷点的对应侧阈值与像素行-像素值曲线图的交点;若任意两个相邻交点之间,像素行-像素值曲线图中各点的像素值均大于对应侧阈值,则以两个相邻交点之间的像素行-像素值曲线图作为分割段;其中,对应侧阈值包括左侧阈值、右侧阈值。

3.根据权利要求2所述的双层对焦方法,其特征在于,分割点,包括:

4.根据权利要求1所述的双层对焦方法,其特征在于,质心,包括:

5.根据权利要求1所述的双层对焦方法,其特征在于,质心,包括:...

【技术特征摘要】

1.一种双层对焦方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的双层对焦方法,其特征在于,分割段,包括:在任一谷点的任一侧,获取该谷点的对应侧阈值与像素行-像素值曲线图的交点;若任意两个相邻交点之间,像素行-像素值曲线图中各点的像素值均大于对应侧阈值,则以两个相邻交点之间的像素行-像素值曲线图作为分割段;其中,对应侧阈值包括左侧阈值、右侧阈值。

3.根据权利要求2所述的双层对焦方法,其特征在于,分割点,包括:

4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐俊峰张伟雄程津林杨晨飞曹桂平董宁
申请(专利权)人:合肥埃科光电科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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