本发明专利技术提供大型表膜构件的框体以及该框体的把持方法。该框体具有由多条边构成的多边形形状的框体、由粘接在该框体的上缘面的表膜和涂敷在该框体的下缘面的粘合材料构成，在把持上述框体的最长边的长度为１ｍ以上的大型表膜构件的上述框体时，上述框体在所有的边部上分别具有把持用的凸部或凹部，通过在上述框体的各边部上分别同时把持至少１处以上的把持用的凸部或凹部，能够可靠地把持框体，而且在将表膜构件粘贴于光掩模时不会产生歪斜、挠曲而简单地将表膜构件从容纳容器取出。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及作为表膜构件(pellicle)的构成构件的框体， 该表膜构件用于防止在制造构成LSI、液晶显示器(LCD)的 薄膜晶体管(TFT)、滤色片(CF)等时的光刻工序中使用的 光掩模、中间掩模(reticle )中附着异物。特别是涉及作为液 晶用大型表膜构件的构成构件、即作为长边长度为lm以上的大 型表膜构件的构成构件的框体。
技术介绍
本专利技术是涉及作为表膜构件的构成构件的框体的技术，首 先说明表膜构件。以往，在半导 体装置的制造中，在晶圆上形成电路图案的 光刻工序中，通常使用被称作表膜构件的防尘部件来防止异物 附着于光掩模、中间掩模。表膜构件是在形状与光掩模或者中 间掩模的形状相符的、厚度为几毫米左右的框体的上缘面铺展 并粘接厚度为lOjim以下的硝酸纤维素、纤维素衍生物 (cellulose derivative )或者氟类聚合物等透明的高分子膜(以 下称作"表膜，，)而成的。通常，表膜构件大多以在该框体的下 缘面涂敷粘合材料、并在该粘合材料层上层叠保护膜而成的产 品状态出货。上述粘合材料层用于将表膜构件粘着于光掩模或者中间掩 模，而且，上述保护膜为了在该粘合材料层被用于上述用途前 维持粘合材料的粘接力而保护该粘合材料层的粘接面。该表膜构件通常由表膜构件制造者提供给制造光掩模或者 中间掩模的制造者(以下称作"掩模制造者")。掩模制造者自表膜构件剥离上述保护膜，利用粘合材料层将表膜构件粘贴于 光掩模或者中间掩模之后，将该掩模或者中间掩模提供给进行 光刻的制造者、例如半导体装置制造者或者液晶面板制造者。在表膜构件用作防尘部件的特性方面，该表膜构件的处理 需要处理为不附着尘埃。通常，在处理表膜构件时，通常通过 向形成在框体外侧面的孔中插入销状工具来把持，通过把持工 具主体而使人手不会直接接触表膜构件(例如参照专利文献 1)。另外，也提出了通过在框体的外侧面形成用于供旋转杆插 入的槽而使用具有旋转杆的工具来把持，通过把持该工具的主体而使人手不会直接接触表膜构件(例如参照专利文献2)。另外，在将表膜构件从表膜构件制造者搬运到掩模制造者 时，为了不附着灰尘，通常将表膜构件放入到具有密封性的容 纳容器中来进行搬运。当然，由于要求表膜构件被可靠地固定 在容纳容器内，因此，也提出了通过向形成在框体外侧面的孔参照专利文献3 )。另外，也提出了通过由构成容纳容器的托盘和盖夹着形成 在框体外侧面上的水平突出部而将表膜构件固定于容纳容器的方法(例如参照专利文献4或5 )。并且，不仅注目于形成在框体外侧面上的突出部、槽或者 孔对表膜构件的把持、固定功能，还对表膜构件的框体形状也 进行了各种研究。例如，为了确保表膜构件内部与外部的透气 性，提出了设置从框体外侧面贯穿到内侧面带有过滤器的孔(例 如参照专利文献6 )。另外，为了控制从光掩膜的图案面到表膜的距离(基准距) (例如参照专利文献7 9)、控制掩膜粘合材料的伸出(例如 参照专利文献10或11 )、形成掩模粘合材料的台阶(例如参照专利文献12)、确保粘贴于光掩模时的加压区域(例如参照专 利文献13)，提出了在框体的上缘面或下缘面设槽、突起、台 阶的各种形状。近年来，随着LCD的大型化，光掩模及其使用的表膜构件 也大型化，最长边的长度大于lm的表膜构件面世了 。 一般认为， 今后，为了应对LCD的大型化、提高生产效率，光掩模的大型 化也是必不可少的。在大型光掩模的情况下，原料大多是合成石英基板，材料 费非常昂贵。因此，相对于设定的有效曝光区域尺寸，光掩模尺寸通常设计得极小。在是粘贴于大型光掩模上的大型表膜构件的情况下，鉴于 光掩模尺寸的制约，对于被粘贴在从有效曝光区域到光掩模的 外周端之间的表模的框体宽度也存在制约，即使表膜构件大型 化，框体的宽度实际上也无法增大。并且，由于从光掩模的图案面到表膜的距离(基准距)受 到曝光机的光学系统制约，因此，对于框体的高度也存在制约， 即使表膜构件大型化，框体的高度实际上也无法增大。另 一方面，作为抑制表膜的面积为1000cm2以上的大型表 膜构件的框体挠曲的方法，提出了使框体的长边宽度大于短边 宽度(例如参照专利文献14)。另外，近年来，掩模等的制造者为了将表膜构件从容纳容 器取出之后直接安装于掩模，采用在从容纳容器取出表膜构件 时、在将保护膜粘贴于托盘的状态下从保护膜与粘合材料的界 面取出表膜构件的方法，要求在取出时不会使表膜构件产生变 形挠曲地将其取出的方法(例如参照专利文献15)。专利文献l:日本特开平9 - 204039号^^才艮专利文献2:曰本#争开2005 — 326634号7>才艮专利文献3:曰本斗寺开2006 — 267179号^>才艮 专利文献4:日本特开平10- 48812号/>才艮 专利文献5:日本特开平IO- 48811号/>净艮 专利文献6:曰本净争开2001 _ 133960号乂>才艮 专利文献7:曰本净争开2002 - 182373号7>才艮 专利文献8:曰本斗争开2002 — 182371号7>才艮 专利文献9:曰本斗争开2000 - 298333号7>才艮 专利文献10:曰本净争开2005 — 338722号7>才艮 专利文献ll:曰本对争开2000— 292910号7>才艮 专利文献12:曰本斗争开2006 — 163035号7^才艮、图6 专利文献13:曰本对争开2005 _ 308901号7>才艮 专利文献14:曰本4争开2001 _ 109135号7>才艮 专利文献15:日本特开2007 - 017811号7>才艮 如上所述，在大型表膜构件中，由于框体的宽度、高度的 限制，框体边部的挠曲会随着表膜构件的大型化而变大。于是， 本专利技术人对最长边的大小为1.4m ~ 2.0m的大型表膜构件的制 作进行了研究，结果发现采用以往的方法极难把持框体。即，如上述专利文献l ~ 5所述，采用通过向形成在框体的 相对的两条边外侧面上的槽、孔中插入销、滑块等工具来把持 或固定的以往方法，存在由于框体边部的挠曲而易于导致销、 滑块等工具自槽、孔脱离，采用框体外侧面的槽、孔已经无法 把持、固定的状况。例如，在向孔中插入销的方法(专利文献 1)、向槽中插入旋转杆的方法(专利文献2)的情况下，由于 在框体各边的大致一点支承，因此，负载易于集中，有时会因 框体边部的挠曲而容易脱离。由框体的原料变更实现的高刚性化也被考虑为对策，但鉴 于表膜构件所要求的无尘等品质，实际上无法容易地变更框体7的原料。至此，如上所述，对框体形状进行了各种设想，但基本上 是在受到制约的框体的宽度、高度的范围内设计框体形状(例如参照专利文献6 12),因此，并不十分有助于框体的高刚性化。另外，对于在框体的宽度、高度的范围之外设计框体形状 也进4亍了研究(例如参照专利文献4或5 )。其相对于申请当时 对框体的制约可以说是优良的技术。即，在专利文献4或5的申 请当时，LSI用途的表膜构件是主流，LSI用途的光掩模尺寸通 常一边为5~ 7英寸(127 ~ 178mm),小于液晶显示器(LCD) 用途的大型的光4奄才莫尺寸( 一边为330 ~ 1400mm)本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种大型表膜构件的框体，该框体具有由多条边构成的多边形形状，能够包括粘接在该框体的上缘面的表膜和涂敷在该框体的下缘面的粘合材料，上述框体的最长边的长度为１ｍ以上，其中， 上述框体在所有的边部分别具有把持用的凸部或凹部。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：谷村彰浩，前田拓郎，
申请(专利权)人：旭化成电子材料株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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