一种精密测量台四点支撑三点调平机构与调平方法技术

本发明专利技术提供了一种精密测量台四点支撑三点调平机构与调平方法，属于精密测量台调平技术领域。本发明专利技术采用两组压电陶瓷堆叠微位移机构与两个空气弹簧实现四点支撑提高稳定性，两个空气弹簧连通等效为单点支撑，通过控制两组压电陶瓷堆叠微位移机构实现三点调平提高控制精度，采用压电陶瓷堆叠推动顶块、调平顶球及楔形块实现微位移调整，完成高精度控制与快速响应。本发明专利技术的精密测量台四点支撑三点调平机构具有良好的动态稳定性，并且稳态误差达到10‑5°，调平顶球和楔形块的单点接触避免了面接触带来的摩擦滞后与装配应力，能够实现芯轴测量过程中的精密自动调平。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种精密测量台四点支撑三点调平机构与调平方法，属于精密测量台调平。

技术介绍

1、随着人工智能时代到来，精密自动调平平台逐渐成为现代机械制造和精密测量领域中的重要装置。在精密测量以及制造领域，对于工作台的平稳性和精度要求极高，任何微小的振动和误差都可能对测量结果和产品质量产生重大的影响。

2、高精度自动调平平台是精密测量设备中重要组成部分，在精密制造与测量、微电子、宇航、生物工程等领域发挥着重要作用，特别是精密、超精密测量领域，人们对其所能实现的精度要求越来越高，往往达到微米，甚至纳米级别。例如，wolter-i型芯轴表面的加工、检验等一系列操作过程中，位置误差等因素会对装调过程产生显著影响，尤其在测量过程中需要进行多次调整，存在人为因素和效率低等问题，因此精密自动调平平台在测量装调过程中变得尤为重要。精密自动调平平台能够监测并调整平台平衡状态，消除或减小由于外部干扰或内部结构不均匀性而造成的倾斜。不仅可以提高工作安全性和可靠性，还能实现高精度测量和提高装调效率。

3、目前，精密自动调平平台的研究在国内外均取得了显著进本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种精密测量台四点支撑三点调平机构，其特征在于，包括：平台（1）、两个空气弹簧（2）、调平下板（3）以及两组压电陶瓷堆叠微位移机构（4）；所述平台（1）与调平下板（3）上下对应设置，空气弹簧（2）及两组压电陶瓷堆叠微位移机构（4）均固定设置在平台（1）与调平下板（3）之间；

2.根据权利要求1所述的一种精密测量台四点支撑三点调平机构，其特征在于，所述压电伸缩陶瓷作动器包括：顶块（4-4）、压电陶瓷堆叠（4-5）以及预紧机构（4-6）；顶块（4-4）和压电陶瓷堆叠（4-5）连接，顶块（4-4）和压电陶瓷堆叠（4-5）滑动设置在预紧机构（4-6）的压电陶瓷作动器外壳（4-12...

【技术特征摘要】

1.一种精密测量台四点支撑三点调平机构，其特征在于，包括：平台（1）、两个空气弹簧（2）、调平下板（3）以及两组压电陶瓷堆叠微位移机构（4）；所述平台（1）与调平下板（3）上下对应设置，空气弹簧（2）及两组压电陶瓷堆叠微位移机构（4）均固定设置在平台（1）与调平下板（3）之间；

2.根据权利要求1所述的一种精密测量台四点支撑三点调平机构，其特征在于，所述压电伸缩陶瓷作动器包括：顶块（4-4）、压电陶瓷堆叠（4-5）以及预紧机构（4-6）；顶块（4-4）和压电陶瓷堆叠（4-5）连接，顶块（4-4）和压电陶瓷堆叠（4-5）滑动设置在预紧机构（4-6）的压电陶瓷作动器外壳（4-12）内，顶块（4-4）与调平顶球（4-3）连接。

3.根据权利要求2所述的一种精密测量台四点支撑三点调平机构，其特征在于，所述预紧机构（4-6）包括：支撑弹性膜（4-7）、顶丝（4-8）、压紧螺母（4-9）、锁紧螺母（4-10）、预紧螺栓（4-11）以及压电陶瓷作动器外壳（4-12）；压电陶瓷作动器外壳（4-12）的前后两端均敞口设置，压电陶瓷作动器外壳（4-12）内固定安有支撑弹性膜（4-7），顶块（4-4）与压电陶瓷堆叠（4-5）滑动设置在压电陶瓷作动器外壳（4-12）内的支撑弹性膜（4-7）前侧，压紧螺母（4-9）设置在压电陶瓷作动器外壳（4-12）内并位于支撑弹性膜（4-7）后侧，压紧螺母（4-9）通过顶丝（4-8）与压电陶瓷作动器外壳（4-12）固定连接，预紧螺栓（4-11）与压紧螺母（4-9）及锁紧螺母（4-10）螺纹连接，锁紧螺母（4-10）...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔繁星，卢涛，韩萌，张贺勋，
申请(专利权)人：吉林化工学院，
类型：发明
国别省市：