温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种精密测量台四点支撑三点调平机构与调平方法，属于精密测量台调平技术领域。本发明采用两组压电陶瓷堆叠微位移机构与两个空气弹簧实现四点支撑提高稳定性，两个空气弹簧连通等效为单点支撑，通过控制两组压电陶瓷堆叠微位移机构实现三点调平提...
该专利属于吉林化工学院所有，仅供学习研究参考，未经过吉林化工学院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。